[发明专利]一种超高精度贴合对位装置

权利要求书

1.一种超高精度贴合对位装置，其特征在于：包括贴合机(100)，所述贴合机(100)包括下部体(110)，所述下部体(110)包括下板(111)，所述下板(111)顶部内设有下载台(112)，所述下板(111)外侧设有外延板(116)，所述外延板(116)设有四个激光测距仪(130)，所述下板(111)顶部连接有表面开设有圆形穿口的倒“U”型支架，所述下板(111)顶部支架圆形穿口内连接有上部体(120)，所述上部体(120)包括上板(121)，所述上板(121)顶部设有连接杆(122)，所述连接杆(122)位于所述下板(111)支架圆形穿口内，所述上板(121)底部设有上载台(123)，所述下载台(112)和所述上载台(123)内均设有限位块(113)，所述下载台(112)的所述限位块(113)内设有下基板(114)，所述下基板(114)顶部设有水胶层(115)，所述上载台(123)的所述限位块(113)内设有上基板(124)。

2.根据权利要求1所述的超高精度贴合对位装置，其特征在于：所述外延板(116)开设有位移槽(131)，所述激光测距仪(130)与所述位移槽(131)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的超高精度贴合对位装置，其特征在于：所述下板(111)设有四个螺旋微调器(118)，所述螺旋微调器(118)末端与所述下载台(112)外表面相连接。

4.根据权利要求1所述的超高精度贴合对位装置，其特征在于：所述限位块(113)一侧设有连接体(1131)，所述连接体(1131)开设有内有螺纹的圆形穿口，所述连接体(1131)内螺纹连接有横向螺纹杆(1132)，所述横向螺纹杆(1132)两端连接有滑动体(1133)，所述下载台(112)呵所述上载台(123)内侧均开设有滑动槽(119)，所述滑动体(1133)与所述滑动槽(119)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的超高精度贴合对位装置，其特征在于：所述水胶层(115)为具有一定范围和厚度的低固化速率胶水。

6.根据权利要求1所述的超高精度贴合对位装置，其特征在于：所述下板(111)顶部支架上表面开设有升降口(117)和固定口(1171)，所述固定口(1171)内通过螺栓固定有伺服电机(125)，所述上板(121)顶部相应设有竖向螺纹杆(126)，所述竖向螺纹杆(126)顶部穿过所述升降口(117)表面螺纹连接有升降齿轮(127)，所述伺服电机(125)与所述竖向螺纹杆(126)通过齿轮啮合。

7.根据权利要求6所述的超高精度贴合对位装置，其特征在于：所述升降齿轮(127)底部设有卡接体(128)，所述卡接体(128)为环状“L”型结构体，所述升降口(117)相应开设有环状“L”型结构凹槽，所述卡接体(128)与所述升降口(117)环状凹槽卡接配合。