[发明专利]一种双模式的固晶机自动上料机构

说明书

本发明属于半导体固晶设备技术领域，具体是一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构。同现有技术相比，通过将叠片台、送料轨道集成在推料盒机构上，可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换，选择基板叠放上料时，将送料轨道从推料盒机构下抽出，基板叠放在叠片台上，吸料机构将基板运至送料轨道上料，其余机构进入等待模式，选择料盒上料时，将送料轨道收回推料盒机构下，料盒放在叠片台上，推料盒机构将料盒推至升降机构上，推片机构与升降机构配合进行上料，卸载料盒时，升降机构将料盒降至收料盒机构水平位置，收料盒机构回收料盒。

技术领域

本发明属于半导体固晶设备技术领域，具体是一种双模式的固晶机自动上料机构。

背景技术

固晶机基板上料方式一般分为两种，一种是将基板放入料盒上料，一种是基板叠放上料。传统固晶机上料机构需要分别配置，切换模式需要将原有机构拆除重新安装机构才能实现，因而只能实现单一模式上料，灵活性不足，给实际生产带来不便，阻碍生产进程，不利于产业化大生产。

因此，需要设计一种不用拆除机构即可实现两种上料模式切换的上料机构，集成度高，通用性强，节省换料时间，提高作业效率。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，提供了一种双模式的固晶机自动上料机构，可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换。

为达到上述目的，本发明是一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构，吸料机构设置在叠片台上方，叠片台设置在推料盒机构上侧，推料盒机构的装载推杆穿过叠片台的长腰孔，送料轨道设置在推料盒机构下侧，升降机构位于推料盒机构的一侧，推片机构设置在升降机构的一侧，收料盒机构设置在升降机构前侧，收料盒机构的卸载推杆底板位于升降机构的料盒拖爪下方，送料轨道下侧、升降机构上部均设有料盒定位机构，推料盒机构包括装载平台、装载推杆、装载推杆底板、导向轴、同步带一、带轮、马达，导向轴设置在装载平台下方，导向轴两端与装载平台采用连接板连接，导向轴两端设有带轮，导向轴一端设有马达，马达与导向轴一端的带轮连接，导向轴两端的带轮之间采用同步带一连接，装载推杆底板与导向轴采用连接件一连接，连接件一套设在导向轴上，装载推杆底板与同步带一固定，装载推杆设置在装载推杆底板前端，装载推杆穿过装载平台，送料轨道包括送料轨道本体、底板、送片夹、送片夹马达、送片夹带轮、同步带二、送片夹导轨、送片轨道伸缩传感器、轨道材料检测传感器，送料轨道本体与底板活动连接，送片夹马达设置在底板一端，送片夹带轮设置在底板两端，送片夹马达与底板一端的送片夹带轮连接，底板两端的送片夹带轮采用同步带二连接，送片夹设置在底板前侧，送片夹与送片夹导轨连接，送片夹与同步带二采用连接件二连接，送片轨道伸缩传感器设置在推料盒机构下表面，轨道材料检测传感器设置在送料轨道本体上表面，收料盒机构包括卸载平台、卸载推杆、卸载推杆底板、卸载底板、卸载电机、卸载同步带、卸载同步轮、推杆到位点传感器、料盒满传感器，卸载底板设置在卸载平台下方，卸载电机设置在卸载底板的一端，卸载底板的两端设有卸载同步轮，卸载电机与卸载底板的一端卸载同步轮连接，卸载底板的两端的卸载同步轮采用卸载同步带连接，卸载推杆底板与卸载底板采用连接件三连接，卸载推杆底板与卸载同步带固定，卸载推杆设置在卸载推杆底板前端，推杆到位点传感器设置在卸载底板后侧，料盒满传感器设置在卸载平台后侧，升降机构包括升降台、料盒拖爪、升降台驱动机构、料盒到位传感器、料盒工作位传感器，料盒拖爪与升降台前侧连接，升降台驱动机构与升降台后侧连接，料盒到位传感器、料盒工作位传感器设置在升降台一侧，料盒到位传感器位于料盒工作位传感器上方，料盒工作位传感器与推片机构平行；

吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构按如下步骤运行：

步骤S1，送片轨道伸缩传感器检测送片轨道是否抽出，如是，则进入基板叠放上料模式，继续执行步骤 S2a，如否，则进入料盒上料模式，继续执行步骤S2b，