[发明专利]一种链式真空镀膜设备在审
| 申请号： | 202111041719.6 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN113802105A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 刘晓萌 | 申请（专利权）人： | 无锡爱尔华光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/22 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云;黄莹 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 链式 真空镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种链式真空镀膜设备，其包括承载盘，其特征在于，其还包括：滚轴、加热器；
所述承载盘为水平设置的平板状结构，所述滚轴水平等高地、并行设置在所述承载盘底端面，所述滚轴的滚动方向为所述承载盘的运动方向；
所述加热器分别设置于相邻的两个所述滚轴之间的位置；所述加热器底端设置升降结构；
两个所述滚轴之间的距离大于所述加热器的宽度。
2.根据权利要求1所述一种链式真空镀膜设备，其特征在于：所述承载盘为矩形平板装，使用硬质易导热材料。
3.根据权利要求1所述一种链式真空镀膜设备，其特征在于：所述滚轴为带轮滚轴，包括：轮轴，所述轮轴上等距套装复数个相同尺寸的滚轮。
4.根据权利要求1所述一种链式真空镀膜设备，其特征在于：其还包括限位器，所述限位器分别设置于所述滚轴上方，所述承载盘的两侧。
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