[发明专利]一种半导体行业废磷酸的回收工艺

权利要求书

1.一种半导体行业废磷酸的回收工艺，其特征在于，所述工艺包括如下步骤：

（1）制备树脂柱；

（2）废磷酸经过树脂柱进行吸附，收集吸附尾液；

所述树脂柱中的树脂为改性大孔强酸阳树脂；

树脂柱内填充有树脂和惰性PP球，惰性PP球位于树脂的上方确保树脂压实；树脂的填充高度与惰性PP球的填充高度比为8-10:1；

树脂柱中的树脂改性的方法为：将树脂在甲醇和乙醇的混合醇中进行浸泡，之后向浸泡过的树脂通入氮气进行处理，经过洗涤后，再使用盐酸进行活化、清洗、低温烘干得到改性后的树脂；所述甲醇:乙醇体积比为1-3:1；混合醇与树脂体积比为1.7-5:1；树脂为一种氢型、官能团为-SO₃-H⁺的大孔强酸阳树脂；

所述废磷酸的酸度为50%-80%；其中各重金属元素含量为：铜离子10ppm-500ppm，镍10ppm-150ppm，铬10ppm-50ppm，其余一类污染物的含量＜10ppm；

步骤（2）中，吸附的具体方法为：

a、使用自来水对树脂柱进行反洗、正洗，清洗至洗液为无色清液；过流速度2-3BV/h，水量1BV；

b、将废磷酸的酸度调整为65%-70%，在温度＜80℃的条件下，过滤除去废液中的杂质，制得滤液1；

c、将步骤b所得滤液1通过计量泵打入树脂柱A进行吸附，滤液1上进下出，得到吸附尾液2；进料速度0.8-1.5BV/h；

d、对吸附尾液2取样检测各重金属含量，若满足铜＜1ppm，镍＜1ppm，其余一类污染物＜1ppm，磷酸酸度≥65%，可直接进磷酸成品罐，作为磷酸产品出售。

2.根据权利要求1所述的回收工艺，其特征在于，所述树脂柱上设有两个透明视镜，两个透明视镜在树脂柱的高度方向平行排布；所述惰性PP球的直径为1.2-1.5mm；所述树脂为改性大孔强酸阳树脂，直径为0.3-1.25mm。

3.根据权利要求1所述的回收工艺，其特征在于，树脂柱的高径比为10:3-3.5。