[发明专利]一种基板刻蚀沟槽装置

权利要求书

1.一种基板刻蚀沟槽装置,其特征是包括料篮上料机构(1)、载盘抓取机构(2)、激光刻蚀机构(3)及载盘定位传送机构(4);

所述料篮升降机构(1)包括第一安装板(101),第一上下直线模组(102), 第一伺服电机(103),第一导轨(104)，驱动带(105),导向条(106),料篮平台(107),同步带轮(108),输送带(109),第一安装板(101)上设置有第一上下直线模组(102)及第一导轨(104)，第一直线模组(102)由第一伺服电机(103)驱动,料篮平台(107)上设置有输送带(109),驱动电机通过驱动带(105)和两侧的同步带轮(108)带动输送带(109);

料篮平台(107)上还设置有料篮感应器;

底部通过电机安装板安装有驱动电机;

所述载盘抽取机构(2)包括第二安装板(201),第二导轨(202)，抓手固定板(203),第二升降气缸(204),载盘推块(205),气动夹爪(206),夹爪安装板(207),第二直线模组(208),肋板(209),第二伺服电机(210),第二直线模组(208)及第二导轨(202)设置在第二安装板(201)上，第二直线模组(208)由第二伺服电机(210)带动，第二升降气缸(204)、气动夹爪(206)、载盘推块(205)组成载盘抓手，所述载盘抓手通过夹爪固定板(207)固定在第二升降气缸(204)上,所述第二升降气缸(204)通过抓手固定板(203)安装在与第二直线模组(208)配套的滑块上;

激光刻蚀机构(3)包括立柱(301), 左右直线模组(302)，前后直线模组(303)，上下直线模组(304), 激光头(305), 定位相机(306); 激光刻蚀机构(3)通过四个根安装立柱安装在机架上，所述激光头(305)通过左右直线模组(302)，前后直线模组(303)，上下直线模组(304)移动位置，激光头旁边安装有定位用相机(306);

所述载盘定位传输机构(4)包括固定导轨(401),传送皮带(402),载盘(403),滚珠丝杠(404),丝杠螺母(405),六方轴组件(406),第四驱动电机(407),张紧轮(408),同步带(409),载盘定位组件(410),第一固定支承座(411),滑动支承座导轨(412),滑动支撑座(413),滑动导轨(414),第二固定支承座(415),传送导向条(416),第四伺服电机(417),载盘定位孔(4031);

传送定位机构(4)分别通过各一对第一固定支撑座(411)、第二固定支支撑座(415)、滑动支撑座(413)安装在机架上，其中第二固定支撑座(415)直接支撑固定导轨(401),第一固定支撑座(411)和第二固定支支撑座(415)通过滚珠丝杠(404)支撑滑动支撑座(413),滑动支承座(413)内部设置有与滚珠丝杠(404)配合的丝杠螺母(405),滑动导轨(414)支撑在两个滑动支撑座(413)上,滑动支撑座(413)下方设置有滑动支承座导轨(412), 滑动支撑座(413)下面的导轨槽与滑动支承座导轨(412)配合;

第四伺服电机(417)通过滚珠丝杠(404)﹑丝杠螺母(405)﹑滑动支撑座(413)与滑动导轨(414)连接，调节固定导轨(401)和滑动导轨(414)上两条传送皮带的间距，可适应不同尺寸的载盘;

第四驱动电机(407)通过皮带轮与六方轴组件(406)连接, 六方轴组件(406)包括六方轴和六方轴套,六方轴组件(406)的一端与固定导轨(401)侧的传送皮带(402)相连,六方轴组件(406)的另一端通过六方轴套与滑动导轨(414)侧的传送皮带相连,六方轴与六方轴套之间滑动连接,便于调整滑动导轨(414)与固定导轨(401)之间的轴向距离,适应不同宽度的载盘;

定位机构(410)固定在载盘定位传送机构(4)两条皮带中间，包括固定板(4100),载盘挡块(4101),导向轴套(4102),导向轴(4103),定位托盘(4104),定位销(4105)，第四顶升气缸(4106)，缓冲装置(4107),限位螺栓(4108),底板(4109),所述载盘挡块(4101)设置在载盘工作位置的前方,顶升气缸(4106)安装在固定板(4100)上，四根导向轴套(4102)贯穿固定板(4100),相应的四根导向轴(4103)穿过导向轴套(4102)把定位装置(410)可上下滑动地设置在载盘工作位置下面,缓冲装置(4107)和限位螺栓(4108)设置在底板(4109)与固定板(4100)之间，第四顶升气缸(4106)活塞上连接有定位托盘(4104)，托盘上安装有定位销(4105) 。