[发明专利]PERC太阳能电池碱抛不良片处理工艺

权利要求书

1.一种PERC太阳能电池碱抛不良片处理工艺，其特征在于，包括如下步骤：

收集碱抛不良片；

在所述碱抛不良片的正面沉积二氧化硅；

对所述碱抛不良片进行背面去PSG处理；

对所述碱抛不良片进行碱抛处理。

2.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池碱抛不良片处理工艺，其特征在于，所述在所述碱抛不良片的正面沉积二氧化硅包括：

将收集好的所述碱抛不良片放入等离子沉积设备的腔体内；

对所述腔体进行升温，使得温度达到400-480℃；

向所述腔体内充氮气进行保护，维持所述腔体内的压力稳定在1000-1500mtor；

调整所述腔体内的压力至150-250mtor，向所述腔体内充硅烷和笑气，在所述碱抛不良片的正面沉积二氧化硅。

3.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池碱抛不良片处理工艺，其特征在于，所述对所述碱抛不良片进行背面去PSG处理包括：

使用氢氟酸溶液去除所述碱抛不良片背面的氧化层；

使用纯水对所述碱抛不良片进行漂洗；

在45-60℃的热风下对所述碱抛不良片进行干燥。

4.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池碱抛不良片处理工艺，其特征在于，所述对所述碱抛不良片进行碱抛处理包括：

使用含氢氧化钾和添加剂的混合溶液对所述碱抛不良片进行腐蚀。

5.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池碱抛不良片处理工艺，其特征在于，在所述对所述碱抛不良片进行碱抛处理之后还包括：

使用氢氟酸溶液对所述碱抛不良片进行酸洗，去除所述碱抛不良片正面的二氧化硅；

使用纯水对所述碱抛不良片进行漂洗；

在85-100℃的热风下对所述碱抛不良片进行干燥。