[发明专利]一种垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 202111049546.2 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113764982A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 崔尧;王嘉星 | 申请（专利权）人： | 深圳博升光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 | ||
1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：
本体；
光学整形件，用于对所述本体发射的光线准直、光线的发射角缩小或者扩大，所述光学整形件位于所述本体发射的光线的光路上，且所述光学整形件与所述本体一体成型。
2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述光学整形件包括光学整形层，所述光学整形层连接至所述本体。
3.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述本体包括氧化层，所述氧化层上开设有若干个未氧化区，所述光学整形层覆盖所述氧化层上至少部分的未氧化区。
4.根据权利要求3所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述光学整形层覆盖所述氧化层上全部的未氧化区。
5.根据权利要求4所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述光学整形层包括至少两部分，一所述部分用于对所述本体发射的光线准直，另一所述部分用于对所述本体发射的光线的发射角缩小或者扩大，
一所述部分覆盖所述氧化层上部分的未氧化区；另一所述部分覆盖所述氧化层上其余的未氧化区。
6.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述光学整形层为一维光栅结构，其包括若干个光栅条，各所述光栅条相互平行且等间隔设置。
7.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述光学整形层为二维光栅结构，其包括若干个高对比度微结构单元，各所述高对比度微结构单元阵列布置，所述高对比度微结构单元为上大下小或者上小下大。
8.根据权利要求7所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述高对比度微结构单元包括若干个层叠设置的结构层，各所述结构层的面积沿所述光线发射方向依次减小或者增大。
9.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述本体为顶面垂直腔面发射激光器或者底面垂直腔面发射激光器。
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