[发明专利]一种自动升降扫描电镜样品座系统在审
申请号: | 202111054920.8 | 申请日: | 2021-09-09 |
公开(公告)号: | CN114188203A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 赵曼;朱振华 | 申请(专利权)人: | 上海磊微科学仪器有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人: | 朱明福 |
地址: | 200000 上海市浦东新区自由*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 升降 扫描电镜 样品 系统 | ||
1.一种自动升降扫描电镜样品座系统,包括支撑座(1),其特征在于,所述支撑座(1)底壁内设有动力腔(2)、移动腔(4)与升降槽(8),所述动力腔(2)内设有驱动电机(3),所述移动腔(4)内转动连接有与驱动电机(3)连接的第一螺纹杆(5),所述升降槽(8)内设有支撑块(9),所述升降槽(8)与支撑块(9)之间设有限位机构,所述支撑块(9)通过连接机构与第一螺纹杆(5)连接,所述支撑块(9)上端面设有用于放置样品的放置槽,所述支撑块(9)上设有多个活动槽(12),多个所述活动槽(12)内均设有固定杆(15),所述固定杆(15)通过支撑机构与活动槽(12)连接,所述升降槽(8)内壁设有多个凹槽(10),所述固定杆(15)通过啮合机构与凹槽(10)连接,所述固定杆(15)上设有转动槽(17),所述转动槽(17)一侧内壁设有调节槽(19),所述调节槽(19)内转动连接有第二螺纹杆(20),所述固定杆(15)侧方设有与第二螺纹杆(20)连接的转盘(18),所述调节槽(19)内设有挤压杆(21),所述挤压杆(21)通过调节机构与第二螺纹杆(20)连接,所述挤压杆(21)端部设有挤压槽(23),所述挤压槽(23)内设有活动块(25),所述活动块(25)通过挤压机构与挤压槽(23)连接,所述挤压杆(21)内设有多个挤压腔(29),多个所述挤压腔(29)内均设有卡杆(28),所述卡杆(28)通过弹性机构与挤压腔(29)连接。
2.根据权利要求1所述的一种自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于,所述限位机构包括多个固定于支撑块(9)外壁的限位块(33),所述升降槽(8)内壁设有多条与限位块(33)对应的限位槽(16)。
3.根据权利要求2所述的一种自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于,所述连接机构包括螺纹连接于第一螺纹杆(5)外壁的第一螺母(6),所述第一螺母(6)侧壁固定有两根连接杆(7),两根所述连接杆(7)滑动贯穿移动腔(4)上内壁,两根所述连接杆(7)端部均与支撑块(9)底壁固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于,所述支撑机构包括固定于固定杆(15)端部的转块(13),所述转块(13)两侧外壁均固定有支撑杆(14),两根所述支撑杆(14)端部均与活动槽(12)内壁转动连接。
5.根据权利要求4所述的一种自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于,所述啮合机构包括固定于凹槽(10)内壁的齿条(11),所述转块(13)外壁设有齿圈,所述齿圈与齿条(11)啮合。
6.根据权利要求5所述的一种自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于,所述调节机构包括螺纹连接于第二螺纹杆(20)外壁的第二螺母(32),所述第二螺母(32)与调节槽(19)均为巨型,所述第二螺母(32)外壁与调节槽(19)内壁滑动连接,所述挤压杆(21)两侧均转动连接有衔接块(22),所述衔接块(22)端部与第二螺母(32)外壁转动连接。
7.根据权利要求6所述的一种自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于,所述挤压机构包括与挤压槽(23)内壁弹性连接的第一弹簧(24),所述第一弹簧(24)端部与活动块(25)端部相抵。
8.根据权利要求7所述的一种自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于,所述弹性机构包括固定于卡杆(28)外壁的固定环(30),所述固定环(30)与挤压腔(29)上内壁之间弹性连接有第二弹簧(31),所述挤压杆(21)外壁设有与卡杆(28)配合的拖拽槽,所述活动块(25)上端面设有与卡杆(28)配合的卡槽(27)。
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