[发明专利]一种自动升降扫描电镜样品座系统

说明书

本发明公开了一种自动升降扫描电镜样品座系统，包括支撑座，所述支撑座底壁内设有动力腔、移动腔与升降槽，所述动力腔内设有驱动电机，所述移动腔内转动连接有与驱动电机连接的第一螺纹杆，所述升降槽内设有支撑块，所述升降槽与支撑块之间设有限位机构，所述支撑块通过连接机构与第一螺纹杆连接，所述支撑块上端面设有用于放置样品的放置槽。本发明通过设置支撑机构与啮合机构，在支撑块下移的时候转块可以通过外壁的齿圈与齿条发生转动，从而通过挤压杆、活动块、保护垫挤压样品外壁对其进行挤压固定，避免使用螺栓等简单结构实现挤压固定功能，装置整体结构合理巧妙，赋予装置科技感也提高了装置的功能性。

技术领域

本发明涉及扫描电镜技术领域，尤其涉及一种自动升降扫描电镜样品座系统。

背景技术

扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的，它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点，扫描电镜主要有真空系统，电子束系统以及成像系统，扫描电镜的景深比较大，成像富有立体感，所以它特别适用于粗糙样品表面的观察和分析。

样品座是与扫描电镜配合同步使用的工具，适用于对样品进行夹持固定的工具，现有的样品座多是一个块状物中间设有用于放置样品的放置孔，将块状物与样品台表面固定连接，利用放置孔来实现对样品的支撑，在样品座表面设有螺栓，转动螺栓使其端部挤压在样品外壁从而达到挤压固定的目的，这种设备结构简单，螺栓挤压固定的方式虽然较为方便，但是长期暴露在外面容易生锈，生锈会影响到样品已寄螺栓本体。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种自动升降扫描电镜样品座系统。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种自动升降扫描电镜样品座系统，包括支撑座，所述支撑座底壁内设有动力腔、移动腔与升降槽，所述动力腔内设有驱动电机，所述移动腔内转动连接有与驱动电机连接的第一螺纹杆，所述升降槽内设有支撑块，所述升降槽与支撑块之间设有限位机构，所述支撑块通过连接机构与第一螺纹杆连接，所述支撑块上端面设有用于放置样品的放置槽，所述支撑块上设有多个活动槽，多个所述活动槽内均设有固定杆，所述固定杆通过支撑机构与活动槽连接，所述升降槽内壁设有多个凹槽，所述固定杆通过啮合机构与凹槽连接，所述固定杆上设有转动槽，所述转动槽一侧内壁设有调节槽，所述调节槽内转动连接有第二螺纹杆，所述固定杆侧方设有与第二螺纹杆连接的转盘，所述调节槽内设有挤压杆，所述挤压杆通过调节机构与第二螺纹杆连接，所述挤压杆端部设有挤压槽，所述挤压槽内设有活动块，所述活动块通过挤压机构与挤压槽连接，所述挤压杆内设有多个挤压腔，多个所述挤压腔内均设有卡杆，所述卡杆通过弹性机构与挤压腔连接。

优选地，所述限位机构包括多个固定于支撑块外壁的限位块，所述升降槽内壁设有多条与限位块对应的限位槽。

优选地，所述连接机构包括螺纹连接于第一螺纹杆外壁的第一螺母，所述第一螺母侧壁固定有两根连接杆，两根所述连接杆滑动贯穿移动腔上内壁，两根所述连接杆端部均与支撑块底壁固定连接。

优选地，所述支撑机构包括固定于固定杆端部的转块，所述转块两侧外壁均固定有支撑杆，两根所述支撑杆端部均与活动槽内壁转动连接。

优选地，所述啮合机构包括固定于凹槽内壁的齿条，所述转块外壁设有齿圈，所述齿圈与齿条啮合。

优选地，所述调节机构包括螺纹连接于第二螺纹杆外壁的第二螺母，所述第二螺母与调节槽均为巨型，所述第二螺母外壁与调节槽内壁滑动连接，所述挤压杆两侧均转动连接有衔接块，所述衔接块端部与第二螺母外壁转动连接。

优选地，所述挤压机构包括与挤压槽内壁弹性连接的第一弹簧，所述第一弹簧端部与活动块端部相抵。