[发明专利]复合膜及其制造方法和电子器件有效

专利信息
申请号: 202111055056.3 申请日: 2021-09-09
公开(公告)号: CN113903870B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 张莹莹;张明超 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52;H01L51/56
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 娜拉
地址: 100084*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 复合 及其 制造 方法 电子器件
【权利要求书】:

1.一种复合膜,其特征在于,所述复合膜包括:

功能层,所述功能层包括基质和层状材料,至少部分所述层状材料间隔分散于所述基质中,且能够剥离以使所述层状材料相互接触并形成连续区域,

其中,所述基质包括绝缘基质,所述层状材料包括导电层状材料;和/或,所述基质包括绝热基质,所述层状材料包括导热层状材料;

所述层状材料包括多个第一层状材料和多个第二层状材料;

所述第一层状材料间隔分散于所述基质中;

所述第二层状材料之间相互接触并形成连续区域。

2.根据权利要求1所述的复合膜,其特征在于,还包括:

基底,所述功能层设置于所述基底的至少一侧表面上。

3.根据权利要求1所述的复合膜,其特征在于,所述层状材料为范德华层状材料。

4.根据权利要求3所述的复合膜,其特征在于,所述导电层状材料选自石墨类物质、黑磷、金属氮化物和金属碳化物中的至少一种。

5.根据权利要求4所述的复合膜,其特征在于,所述石墨类物质包括3层以上的石墨烯层。

6.根据权利要求1所述的复合膜,其特征在于,所述导热层状材料选自氮化硼、黑磷、过渡金属硫化物、氧化物、氢氧化物、硅酸盐和金属卤化物中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的复合膜,其特征在于,所述基质为可溶解于溶剂的基质材料。

8.根据权利要求7所述的复合膜,其特征在于,所述基质材料选自绝缘石墨烯和高分子材料。

9.根据权利要求8所述的复合膜,其特征在于,所述绝缘石墨烯包括氧化石墨烯。

10.根据权利要求8所述的复合膜,其特征在于,所述高分子材料包括人工合成高分子材料和天然高分子材料。

11.根据权利要求10所述的复合膜,其特征在于,所述天然高分子材料选自蚕丝、蜘蛛丝、羊毛、头发、胶原蛋白、壳聚糖、海藻酸钠、明胶和天然橡胶中的至少一种。

12.根据权利要求10所述的复合膜,其特征在于,所述人工合成高分子材料选自硅胶、聚乳酸、聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、苯胺甲醛树脂、聚邻苯二甲酸二烯丙酯、聚丁二酸丁二醇脂、聚砜、聚氯乙烯、聚丙烯、聚乙烯和羧甲基纤维素中的至少一种。

13.根据权利要求1所述的复合膜,其特征在于,所述导电层状材料与所述绝缘基质的质量比为10-2~102:1。

14.根据权利要求1所述的复合膜,其特征在于,所述层状材料包括导电层状材料,所述复合膜的电阻范围为10-8~1010Ω/□。

15.如权利要求1-14任一项所述复合膜的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:

将层状材料分散于绝缘基质和绝热基质中的至少一种基质中,得到分散液;

将所述分散液沉积在板件的至少一侧上形成功能层,得到复合膜。

16.根据权利要求15所述的制造方法,其特征在于,在将所述分散液沉积在板件的至少一侧上形成功能层之后,还包括:

对所述功能层施加局域外部连续压力使所述功能层中的层状材料剥离,并且剥离后的层状材料之间相互接触形成连续区域。

17.一种电子器件,其特征在于,所述电子器件包括如权利要求1-14任一项所述的复合膜。

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