[发明专利]基板干燥装置

权利要求书

1.一种基板干燥装置，包括：

基板干燥腔室，所述基板干燥腔室包括：上壳体；下壳体，所述下壳体联接至所述上壳体以被打开或关闭；基板放置板，所述基板放置板联接至所述下壳体的底表面并且在所述基板放置板上布置其上形成有机溶剂的基板；集成式供应/排出端口，所述集成式供应/排出端口形成为从所述下壳体的侧表面延伸至所述下壳体的中间区域，并且形成为在所述下壳体的中间区域中面向所述基板放置板并且提供初始加压用超临界流体的供应路径和溶解了形成在所述基板上的有机溶剂的混合流体的排出路径；以及上供应端口，所述上供应端口形成为在所述上壳体的中心区域中面向所述基板放置板以提供干燥用超临界流体的供应路径；和

柔性供应/排出管，所述柔性供应/排出管联接至所述下壳体的所述侧表面以提供所述初始加压用超临界流体通过其被供应至所述基板干燥腔室的路径以及所述混合流体通过其被从所述基板干燥腔室排出的路径，并具有螺旋线圈形状。

2.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其中所述柔性供应/排出管包括：

金属管，所述金属管提供流体流动路径；和

第一绝缘体，所述第一绝缘体形成于所述金属管的外表面上。

3.根据权利要求2所述的基板干燥装置，其中所述柔性供应/排出管还包括：

管加热体，所述管加热体形成在所述第一绝缘体的外表面上；和

第二绝缘体，所述第二绝缘体形成在所述管加热体的外表面上。

4.根据权利要求3所述的基板干燥装置，其中所述金属管由碳钢、铬(Cr)钢、镍(Ni)钢、铬-钼钢、镍-铬-钼钢和不锈钢中的任一种材料制成。

5.根据权利要求3所述的基板干燥装置，其中所述第一绝缘体和所述第二绝缘体中的每一个由软有机硅、聚酰亚胺(PI)、聚酰胺(PA)、全氟烷氧基烷烃(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚丙烯(PP)和聚醚醚酮(PEEK)制成。

6.根据权利要求3所述的基板干燥装置，其中所述管加热体由Ni、Cr、Ni-Cr和钨(W)中的任一种材料制成。

7.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其中所述基板干燥腔室还包括嵌入在所述上壳体和所述下壳体中的至少一个中的加热器。

8.根据权利要求7所述的基板干燥装置，其中所述加热器包括多个加热体，所述多个加热体以同心圆的形式对称地设置在所述上壳体和所述下壳体中的至少一个中。

9.根据权利要求8所述的基板干燥装置，其中所述加热器操作以将通过所述集成式供应/排出口供应的所述初始加压用超临界流体和通过所述上供应端口供应的所述干燥用超临界流体的温度维持在大于或等于临界点。

10.根据权利要求8所述的基板干燥装置，其中构成所述加热器的多个加热体延伸至形成在所述上壳体和所述下壳体的至少一个侧壁中的孔口，以电连接至外部电源。

11.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其中所述集成式供应/排出端口包括：

公共导管线，所述公共导管线从所述下壳体的侧表面到所述下壳体的中间区域形成；和

公共端口，所述公共端口被配置在所述下壳体的所述中间区域中为与所述公共导管线路连通并且形成为面向所述基板放置板。

12.根据权利要求11所述的基板干燥装置，其中：

所述初始加压用超临界流体通过所述公共导管线和所述公共端口从外部被供应至由所述上壳体和所述下壳体密封的干燥空间，并且

其中在所述干燥用超临界流体中溶解了有机溶剂的所述混合流体通过所述公共端口和所述公共导管线被从所述干燥空间排出到外部。