[发明专利]石英管清洗装置及清洗方法

权利要求书

1.一种石英管清洗装置，其特征在于，包括：

底部具敞口的清洗罩(20)，与清洗罩(20)沿垂直方向活动插接装配的底座(60)，设置于底座(60)内并箍持石英管(50)的承载台(21)，以及驱动装置；

所述清洗罩(20)的顶部设置第一喷嘴(205)，所述清洗罩的侧壁竖直设置若干第二喷嘴(206)，所述承载台(21)垂直设置内喷管(45)，所述内喷管(45)位于承载台(21)上方的顶部和侧部设置若干第三喷嘴(208)；所述底座(60)嵌设回旋密封装置，所述内喷管(45)沿垂直方向连续贯穿承载台(21)与回旋密封装置；所述驱动装置驱动承载台(21)旋转，所述内喷管(45)在承载台(21)旋转过程中保持静止；

所述承载台(21)沿垂直方向向上形成至少两层直径渐缩且逐级升高布置的定位凸台，所述定位凸台的边缘处形成若干缺口；

所述底座(60)的边缘形成收容清洗罩底部敞口边缘的收容槽(62)，清洗罩(20)倒扣于所述收容槽(62)中；

所述石英管清洗装置还包括上下平行布置的上安装板(102)与下安装板(101)，所述驱动装置设置于下安装板(101)上，所述底座(60)嵌入设置于所述上安装板(102)；

所述底座(60)包括底板(600)，自底板(600)环形布置并向上设置的内环壁(601)，所述内环壁(601)径向向外且水平延伸形成底壁(602)，所述底壁(602)的外侧形成垂直环形围合所述底壁(602)的外环壁(604)，所述收容槽(62)由内环壁(601)、底壁(602)及外环壁(604)围合形成；

所述内环壁(601)的顶部开设若干第一缺口(631)，所述清洗罩(20)的底部开设若干第二缺口(221)，以通过所述第一缺口(631)与所述第二缺口(221)建立空气流通通道。

2.根据权利要求1所述的石英管清洗装置，其特征在于，所述内喷管(45)位于承载台(21)上方的顶部和侧部设置若干第三喷嘴(208)喷射形成与石英管内部腔体适配的圆柱状喷射束流；

所述石英管清洗装置还包括连接第一喷嘴(205)、第二喷嘴(206)及内喷管(45)的切换装置(91)，所述切换装置连接清洗液储存装置(92)及气源(93)，以通过所述切换装置(91)控制所述第一喷嘴(205)、第二喷嘴(206)及第三喷嘴(208)喷射清洗液和/或气体。

3.根据权利要求1所述的石英管清洗装置，其特征在于，所述清洗罩(20)的环形侧壁(201)形成侧向开口，所述清洗罩(20)设置活动打开或者闭合所述侧向开口的滑动盖板(202)。

4.根据权利要求1所述石英管清洗装置，其特征在于，所述外环壁(604)沿垂直方向延伸以形成上外环壁(614)与下外环壁(624)，所述上安装板(102)横向抵靠于所述内环壁(601)的外壁并向上凸伸形成与所述下外环壁(624)卡持的环形肋板(112)；所述上外环壁(614)沿垂直方向上的高度高于所述内环壁(601)的顶部边缘，所述内环壁(601)靠近底板(600)的底部设置若干排水孔(65)。

5.根据权利要求1或者4所述的石英管清洗装置，其特征在于，所述驱动装置包括：电机(41)，换向装置(42)，主动轮(422)，同步带(43)及驱动承载台(21)并位于底座(60)底部的从动轮(44)；所述内喷管(45)沿垂直方向的上下两端部分别凸伸出所述承载台(21)与从动轮(44)。

6.根据权利要求5所述的石英管清洗装置，其特征在于，所述清洗罩(20)的内壁设置气孔(351)，以及横向遮蔽气孔的挡板(35)；所述底板(600)向上凸设一圆台(605)，所述承载台(21)设置于所述圆台(605)上方，所述承载台(21)的直径大于所述圆台(605)的直径。