[发明专利]COC共晶焊接设备在审
申请号: | 202111062654.3 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113658895A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 代克明;卢胜泉;王友辉;陈小玉 | 申请(专利权)人: | 深圳九州光电子技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/60;B23K31/02;B23K37/00 |
代理公司: | 深圳市凯达知识产权事务所 44256 | 代理人: | 刘大弯 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明区玉塘街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | coc 焊接设备 | ||
本发明公开了COC共晶焊接设备,包括机座,所述机座上固定有共晶焊台,所述共晶焊台的一侧固定有COC鱼骨下料机构,所述共晶焊台的外侧及COC鱼骨下料机构的外侧分别固定有COC蓝膜脱膜装置,一所述COC蓝膜脱膜装置的上方设置有COC芯片搬送吸嘴,另一所述COC蓝膜脱膜装置的上方设置有COC共料吸嘴,所述共晶焊台上方设置有COC芯片焊接吸嘴,所述共晶焊台、COC鱼骨下料机构和COC蓝膜脱膜装置上方分别固定有图像识别装置,所述机座上还设置有控制共晶焊台、COC鱼骨下料机构、COC蓝膜脱膜装置、图像识别装置和各吸嘴工作的控制主板。本发明具有加工效率高,成品率高的优点。
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域,具体为COC共晶焊接设备。
背景技术
共晶贴片机是一种广泛应用于光电子学,无线和医学行业的自动化设备,它是设计规划用于定位精度的精密元件组装设备,能够有效降低元件组装的人工成本。在现有的COC共晶贴片机使用过程中,由于布局不合理,芯片在运送时会出现偏位的情况,从而会产工出次品,在运送过程中,也会由于需要原料和成品的分别搬运,从而影响了加工效率。
发明内容
本发明的目的在于提供COC共晶焊接设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:COC共晶焊接设备,包括机座,所述机座上固定有共晶焊台,所述共晶焊台的一侧固定有COC鱼骨下料机构,所述共晶焊台的外侧及COC鱼骨下料机构的外侧分别固定有COC蓝膜脱膜装置,一所述COC蓝膜脱膜装置的上方设置有COC芯片搬送吸嘴,另一所述COC蓝膜脱膜装置的上方设置有COC共料吸嘴,所述共晶焊台上方设置有COC芯片焊接吸嘴,所述共晶焊台、COC鱼骨下料机构和COC蓝膜脱膜装置上方分别固定有图像识别装置,所述机座上还设置有控制共晶焊台、COC鱼骨下料机构、COC蓝膜脱膜装置、图像识别装置和各吸嘴工作的控制主板。
其中,COC共料吸嘴包括Y轴直线电机、B吸嘴直线电机、B吸嘴和A吸嘴,所述,Y轴直线电机顶部设有顶板,所述顶板一端设有竖板,所述竖板一侧下半部设有防护设备箱,所述防护设备箱一侧设有B吸嘴Z轴直线电机和A吸嘴Z轴直线电机,所述B吸嘴Z轴直线电机一侧设有B吸嘴连接架,所述A吸嘴Z轴直线电机一侧设有A吸嘴连接架,所述B吸嘴连接架一侧设有B吸嘴,所述A吸嘴连接架一侧设有A吸嘴。
进一步的,所述顶板顶部一侧设有A吸嘴吸真空电磁阀、A吸嘴破正压电磁阀、B吸嘴吸真空电磁阀和B吸嘴破正压电磁阀。
进一步的,所述防护设备箱顶部设有A吸嘴空气过滤器和B吸嘴空气过滤器,所述A吸嘴空气过滤器通过真空吸管与A吸嘴连接,所述B吸嘴空气过滤器通过真空吸管与B吸嘴连接。
其中COC蓝膜脱膜装置,包括XY轴模组固定座、蓝膜底板、顶针座和XY调节滑台底座,所述XY轴模组固定座顶部设有X轴模组固定座,所述X轴模组固定座顶部设有X轴导轨模组,所述X轴导轨模组顶部设有Y轴模组固定座,所述Y轴模组固定座顶部设有Y轴导轨模组,所述Y轴导轨模组顶部设有蓝膜底板,所述蓝膜底板内部设有带芯片蓝膜盘,所述XY调节滑台底座顶部设有XY手动调节滑台,所述XY手动调节滑台顶部设有滑台安装板,所述滑台安装板顶部设有顶针固定座,所述顶针固定座顶部设有顶针座,所述顶针固定座一侧设有顶针座电机,所述顶针座电机输出轴外壁位于顶针座下方设有偏心轮。
优选的,所述X轴导轨模组一端设有X轴电机,所述X轴导轨模组两端设有X轴上下限位感应器,用于X轴导轨模组的两端限位,所述X轴导轨模组靠近X轴电机一端设有X轴原点感应器,用于X轴导轨模组的原点回位。
优选的,所述Y轴导轨模组一端设有Y轴电机,所述Y轴导轨模组两端设有Y轴上下限位感应器,用于Y轴导轨模组的两端限位,所述Y轴导轨模组靠近Y轴电机一端设有Y轴原点感应器,用于Y轴导轨模组的原点回位。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造