[发明专利]一种膜片厚度的光测试方法及系统

权利要求书

1.一种膜片厚度的光测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取膜片(1)中心球顶部(11)的顶点位置信息，其中，膜片(1)放置于承接板(7)上且中心球顶部(11)位于光接收装置(3)与光发射装置(2)之间，所述顶点位置信息为中心球顶部(11)的顶点相对于承接板(7)上坐标系的坐标信息；

获取光发射装置(2)的光位置信息，所述光位置信息为光发射装置(2)相对于承接板(7)上坐标系的坐标信息；

根据顶点位置信息和光位置信息计算得到偏移量，所述偏移量为顶点位置信息和光位置信息之间的坐标偏差；

获取光接收装置(3)的检测信号，并根据检测信号得到膜片(1)的初步厚度；

根据偏移量和初步厚度计算得到膜片(1)的最终厚度；

其中，所述根据偏移量和初步厚度计算得到膜片(1)的最终厚度，包括：

获取中心球顶部(11)的外径；

根据外径、偏移量计算得到偏移角；

根据初步厚度和偏移角，利用三角函数公式计算得到最终厚度；

其中，三角函数公式为：

H₁＝H₀·cosθ；

式中：θ为偏移角；L为偏移量；R为中心球顶部(11)的外径；H₀为初步厚度；H₁为最终厚度。

2.根据权利要求1所述的膜片厚度的光测试方法，其特征在于，所述获取膜片(1)中心球顶部(11)的顶点位置信息，包括：

获取膜片(1)的初始图像，对初始图像的中心球顶部(11)的轮廓进行提取，以得到中心圆图像；获取中心圆图像的圆心坐标，以得到顶点位置信息。

3.根据权利要求2所述的膜片厚度的光测试方法，其特征在于，所述获取中心圆图像的圆心坐标，以得到顶点位置信息，包括：

利用霍夫变换获取中心圆图像的圆心的第一坐标；

利用最小二乘法获取中心圆图像的圆心的第二坐标；

对第一坐标和第二坐标进行算术平均，以得到圆心坐标。

4.根据权利要求1所述的膜片厚度的光测试方法，其特征在于，所述获取膜片(1)中心球顶部(11)的顶点位置信息之前，还包括：

获取光接收装置(3)的预检测信号，并对预检测信号进行校正。