[发明专利]透明导电氧化物薄膜及异质结太阳能电池

说明书

本申请提供一种透明导电氧化物薄膜及异质结太阳能电池，涉及太阳能电池技术领域领域。透明导电氧化物薄膜包括种子层、导电层和保护层，种子层包括氧化铟锡膜或镓/铝共掺杂氧化锌膜，导电层为镓/铝共掺杂氧化锌膜，保护层为氧化铟锡膜；透明导电氧化物薄膜中的氧化铟锡膜的厚度小于镓/铝共掺杂氧化锌膜的厚度。其能够保证电池效率和减少电池衰减，同时能够减少成本。

技术领域

本申请涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种透明导电氧化物薄膜及异质结太阳能电池。

背景技术

透明导电氧化物(TCO)薄膜因其优异的光电性能在low-E玻璃、平板显示、发光二极管、光电探测、光电通信、太阳电池等泛光电半导体领域得到了广泛应用。

在异质结太阳电池(SHJ)应用中，TCO薄膜具有三大重要功能：1、充当光生载流子的有效收集和传输载体，需具备较好的导电性；2、充当表面减反射窗口层；3、充当表面保护层。此外，TCO薄膜除了必须具备满足电池性能所需要的光电性能外，还需严格控制TCO薄膜的物料及制备成本。

其中，氧化铟锡(ITO)薄膜是一种常用的TCO薄膜，但是目前铟的价格较高，导致氧化铟锡(ITO)薄膜的成本较高。而铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜是另外一种常用的TCO薄膜，因该薄膜主要成分是Zn和Al，其成本仅为ITO薄膜的1/10左右。现有技术中，为了减少成本，有通过使用低成本的AZO薄膜替代ITO薄膜，但是AZO薄膜作为TCO薄膜制备的SHJ电池效率较低，且具有严重的电池衰减问题，终端产品很难满足国标委IEC：61215的相关指标要求。

发明内容

本申请实施例提供一种透明导电氧化物薄膜及异质结太阳能电池，其能够保证电池效率和减少电池衰减，同时能够减少成本。

本申请实施例是这样实现的：

第一方面，本申请实施例提供一种透明导电氧化物薄膜，其包括种子层、导电层和保护层，种子层包括氧化铟锡膜或镓/铝共掺杂氧化锌膜，导电层为镓/铝共掺杂氧化锌膜，保护层为氧化铟锡膜；

透明导电氧化物薄膜中的氧化铟锡膜的厚度小于镓/铝共掺杂氧化锌膜的厚度。

第二方面，本申请实施例提供一种异质结太阳能电池，其包括：

硅片；

在所述硅片的两个表面的本征非晶硅薄膜；

在其中一个本征非晶硅薄膜表面的P型掺杂非晶硅薄膜，以及在另一个本征非晶硅薄膜表面的N型掺杂非晶硅薄膜；

第一方面实施例的透明导电氧化物薄膜，透明导电氧化物薄膜设于所述P型掺杂非晶硅薄膜和N型掺杂非晶硅薄膜的表面；种子层靠近P型掺杂非晶硅薄膜和N型掺杂非晶硅薄膜设置；以及

电极，电极设于透明导电氧化物薄膜的表面。

本申请实施例的透明导电氧化物薄膜及异质结太阳能电池的有益效果包括：

透明导电氧化物薄膜中的种子层包括氧化铟锡膜或镓/铝共掺杂氧化锌膜，该种子层能够降低透明导电氧化物薄膜与P型掺杂非晶硅薄膜和N型掺杂非晶硅薄膜的接触势垒，获得较低的接触电阻；同时，由氧化铟锡膜作为保护层，能够提高透明导电氧化物薄膜的稳定性，保证电池效率和减少电池衰减。其中，导电层为镓/铝共掺杂氧化锌膜，且透明导电氧化物薄膜中的氧化铟锡膜的厚度小于镓/铝共掺杂氧化锌膜的厚度，则能够减少成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例的异质结太阳能电池的结构示意图；