[发明专利]一种用于晶圆贴片过程中保护膜的保护装置

权利要求书

1.一种用于晶圆贴片过程中保护膜的保护装置，其特征在于，包括支撑座(1)，所述支撑座(1)的顶部一端设有支撑板一(2)，所述支撑板一(2)的上部套设有旋转套筒(3)，所述旋转套筒(3)侧边设有贴片机构(4)，所述支撑板一(2)的一侧顶部设有横梁(5)，所述横梁(5)的底部设有压平机构(6)，所述支撑座(1)的顶部另一端设有支撑柱(7)，所述支撑柱(7)为空腔柱，所述支撑柱(7)内设有升降限位装置，所述升降限位装置贯穿于所述支撑柱(7)顶部延伸至所述支撑柱(7)的上方并顶部设有顶板(8)，所述顶板(8)的顶部设有支撑板二(9)，所述支撑板二(9)的顶部设有晶圆支撑盘(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆贴片过程中保护膜的保护装置，其特征在于，所述压平机构(6)包括固定板(11)，所述固定板(11)的底部且靠近所述支撑板一(2)的一端设有电机(12)，所述电机(12)的输出端连接有输出轴，且所述输出轴贯穿于所述固定板(11)延伸至所述固定板(11)的上方并顶部设有转动拉杆(13)，所述输出轴表面上部且位于所述转动拉杆(13)与所述固定板(11)之间设有柱体一(14)，所述柱体一(14)的底部固定在所述固定板(11)的顶部一端上，所述转动拉杆(13)的顶部另一端设有转齿轮(15)，所述转齿轮(15)的顶部中心设有V型板(17)，所述V型板(17)的顶部中心处设有拉杆三(16)，其中，所述V型板右端底部设有不转齿轮(20)，所述不转齿轮(20)的底部中心处设有滑块(18)，所述滑块(18)下方设有与所述滑块(18)相配合的U型板(19)，所述U型板(19)的底部固定在所述固定板(11)的顶部且靠近所述支撑板一(2)的一侧上。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆贴片过程中保护膜的保护装置，其特征在于，所述V型板(17)左端顶部设有拉杆一(21)，所述拉杆一(21)另一端顶部设有拉杆二(22)，所述拉杆二(22)另一端连接在所述拉杆三(16)的一端顶部上，其中，所述拉杆二(22)与所述拉杆一(21)相交端的底部设有连接柱一(23)，所述连接柱一(23)的底部设有连接柱二(24)，所述连接柱二(24)的底部设有连接柱三(25)，所述连接柱三(25)的底部设有连接柱四(26)，所述连接柱四(26)的底部设有固定盘(27)，所述固定盘(27)的外侧设有若干个均匀设置的旋转件(28)，所述旋转件(28)的顶部均设有限位块(29)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆贴片过程中保护膜的保护装置，其特征在于，所述旋转件(28)的底部均设有连接转杆(30)，所述连接转杆(30)的两端均设有滚动球(31)，所述滚动球(31)均为橡胶材质制作形成，其中，若干个连接转杆(30)均是采用同一个方向倾斜布列在固定盘(27)的底部周边处。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆贴片过程中保护膜的保护装置，其特征在于，所述连接柱三(25)的表面底部设有若干个均匀式布列的弯杆(32)，所述弯杆(32)的底部均设有软性球体(33)，所述软性球体(33)的尺寸均为相同，且所述软性球体(33)直径大于所述滚动球(31)的直径，同时，所述软性球体(33)均位于所述贴片机构(4)的上方。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆贴片过程中保护膜的保护装置，其特征在于，所述升降限位装置包括侧齿牙升降柱(34)，所述侧齿牙升降柱(34)穿插在所述支撑柱(7)内并顶部与所述顶板(8)的底部固定连接，其中，所述支撑柱(7)且远离所述支撑板一(2)的一侧上部设有倒梯形凹槽(35)，所述梯形凹槽(35)将所述支撑柱(7)内部与外界相贯通，且所述侧齿牙升降柱(34)左侧齿牙处贯穿于所述梯形凹槽(35)。