[发明专利]一种机械化学研磨保持环的表面处理方法

权利要求书

1.一种机械化学研磨保持环的表面处理方法，其特征在于，所述表面处理方法包括如下：

对保持环的金属面依次进行第一研磨和第二研磨，对所述保持环的塑料面进行第三研磨；

所述第一研磨中对保持环施加有0.3-0.7MPa的压力；所述第一研磨的转速为30-60r/min，时间为20-40min；所述第一研磨后金属面的平面度≤0.015mm；

所述第二研磨中对保持环施加有0.8-1.2MPa的压力；所述第二研磨的转速为30-60r/min，时间为20-40min；所述第二研磨后金属面的粗糙度≤0.1μm；

所述第三研磨开始前对所述保持环的塑料面进行清洗；所述清洗包括对所述塑料面采用异丙醇进行超声清洗；所述清洗的温度为20-40℃，时间为3-8min；所述第三研磨的压力为0.1-0.3MPa，转速为50-70r/min，时间为60-110min；所述第三研磨后塑料面的粗糙度Ra≤0.1μm。