[发明专利]散热背板及其制备方法、半导体结构及其制备方法

说明书

本发明涉及一种散热背板，包括衬底、斜向悬空电极结构和散热通孔。其中，斜向悬空电极结构位于衬底的表面；散热通孔位于衬底内。上述散热背板，具有斜向悬空电极结构，可以增加电极与空气的接触面积，增强电极自身的散热能力；再结合衬底内的散热通孔，在增加散热背板散热面积的同时，还便于与其他散热机制相结合，对散热背板进行充分散热，提高散热背板的散热能力。

技术领域

本发明涉及背板散热技术领域，尤其涉及一种散热背板及其制备方法、半导体结构及其制备方法。

背景技术

随着科技的发展，液晶显示技术越来越成熟，电视也从使用传统的显像管发展到使用液晶显示屏。由于液晶显示屏是被动发光的显示屏，液晶显示面板本身不发光，所以液晶显示屏需要背光模组来提供光源，从光源的类别来分，背光模组可以分为CCFL背光模组、LED背光模组等。LED背光模组由于其色彩还原性好，易于进行分区控制等原因，已成为液晶显示屏的主流背光源。

LED背光模组根据LED光源位置的不同一般可分为侧光式LED背光模组和直下式LED背光模组，通常，直下式LED背光模组的LED光源安装在底部，主要包括：LED光源、反射片、扩散板和/或扩散膜、棱镜膜、增亮膜等。而侧光式LED背光模组的LED光源安装在侧面，主要包括：LED光源、反射片、导光板、棱镜膜、增亮膜等。侧光式LED背光模组和直下式LED背光模组的主要区别在于分别使用了扩散板和导光板，扩散板配合底部的光源混光后提供给液晶显示屏，导光板配合侧面的光源将光导成面光源后提供给液晶显示屏。

随着液晶电视的轻薄化、大尺寸越来越成为市场主流，液晶显示屏的轻薄化和大尺寸也是必然，为了配合大尺寸的液晶显示屏，需要在液晶显示屏的背光模组上安装相应数量的LED光源。Micro-LED作为新兴的显示技术，具有响应速度快，自主发光、对比度高、使用寿命长、光电效率高等特点。

在Micro-LED背板中，由于在LED点亮过程中，背板电路以及LED芯片会产生大量热量，如果没有较好的散热设计，会造成LED使用寿命降低，以及LED发光效率降低。因此，如何提高背板的散热能力是亟需解决的问题。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种散热背板及其制备方法、半导体结构及其制备方法，旨在解决如何提高背板散热能力的问题。

一种散热背板，包括：衬底；斜向悬空电极结构，位于所述衬底的表面；散热通孔，位于所述衬底内。

上述散热背板，具有斜向悬空电极结构，可以增加电极与空气的接触面积，增强电极自身的散热能力；并且，斜向悬空的电极结构还可以使得焊接在电极上的芯片与衬底之间具有一定的空间，有利于芯片散热。再结合衬底内的散热通孔，在增加散热背板散热面积的同时，还便于散热背板与其他散热机制相结合，对散热背板进行充分散热，提高散热背板的散热能力。

可选地，所述斜向悬空电极结构包括：第一斜向悬空电极，位于所述衬底的表面；第二斜向悬空电极，位于所述衬底的表面，所述第二斜向悬空电极的延伸方向与所述第一斜向悬空电极的延伸方向相交。

可选地，所述散热通孔位于同一所述斜向悬空电极结构的所述第一斜向悬空电极与所述第二斜向悬空电极之间。

通过在第一斜向悬空电极与第二斜向悬空电极之间设置散热通孔，可以将散热通孔的作用发挥到最大，有针对性地将各个芯片产生热量驱散。

基于同样的发明构思，本申请还提供一种散热背板的制备方法，包括：提供衬底；于所述衬底的表面形成斜向悬空电极结构；于所述衬底中形成散热通孔。

上述散热背板的制备方法，将电极设计为斜向悬空结构，可以增加电极与空气的接触面积，增强电极自身的散热能力；并且，通过在衬底内的形成散热通孔，可以在增加散热背板散热面积的同时，便于与其他散热机制(例如使用冷凝剂进行散热)相结合，极大地提高散热背板的散热能力。