[发明专利]扇出型封装结构在审
申请号: | 202111093731.1 | 申请日: | 2021-09-17 |
公开(公告)号: | CN114023662A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 翁振源;李铮鸿;闵繁宇;刘修吉;赖仲航 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/31;H01L23/16 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扇出型 封装 结构 | ||
本发明的实施例提供了一种扇出型封装结构,包括:并排设置的第一电子元件和第二电子元件,第一电子元件包括:功能凸块阵列,位于第一电子元件的下表面的中心处;伪凸块,位于功能凸块阵列和第一电子元件的下表面的边界之间;线路层,位于第一电子元件和第二电子元件下方,第二电子元件和第一电子元件的功能凸块阵列电连接至线路层,第一电子元件的伪凸块物理接触线路层。本发明的目的在于提供一种扇出型封装结构,以提高扇出型封装结构的良率。
技术领域
本申请的实施例涉及扇出型封装结构。
背景技术
在扇出型封装结构中,尤其是扇出型衬底上芯片(FOCOS)封装,各材料间热膨胀系数(CTE)不匹配,在热循环过程中会产生翘曲,因整体结构无法直接释放翘曲所产生的应力,因此位于应力集中点的电子元件周围容易产生破裂而直接往下破坏线路层。
发明内容
针对相关技术中存在的问题,本发明的目的在于提供一种扇出型封装结构,以提高扇出型封装结构的良率。
为实现上述目的,本发明的实施例提供了一种扇出型封装结构,包括:并排设置的第一电子元件和第二电子元件,第一电子元件包括:功能凸块阵列,位于第一电子元件的下表面的中心处;伪凸块,位于功能凸块阵列和第一电子元件的下表面的边界之间;线路层,位于第一电子元件和第二电子元件下方,第二电子元件和第一电子元件的功能凸块阵列电连接至线路层,第一电子元件的伪凸块物理接触线路层。
在一些实施例中,伪凸块邻接边界。
在一些实施例中,伪凸块位于下表面的拐角处。
在一些实施例中,伪凸块位于下表面的中心与拐角的连线的两侧。
在一些实施例中,伪凸块还位于下表面的中心与拐角的连线上。
在一些实施例中,位于单个拐角处的伪凸块具有L形形状。
在一些实施例中,L形平行于拐角处的边界。
在一些实施例中,还包括:填充层,包覆第一电子元件和第二电子元件。
在一些实施例中,第一电子元件和第二电子元件通过填充层隔开。
在一些实施例中,还包括:粘合层,位于第一电子元件、第二电子元件和线路层之间,第一电子元件的功能凸块阵列和伪凸块穿过粘合层。
在一些实施例中,填充层和粘合层的热膨胀系数不同。
在一些实施例中,第二电子元件的横向尺寸大于第一半导体管芯的横向尺寸。
在一些实施例中,伪凸块与边界之间具有第一距离,伪凸块与功能凸块阵列之间具有第二距离,第一距离小于第二距离。
在一些实施例中,第一电子元件是高带宽存储器(HBM)管芯。
在一些实施例中,第二电子元件是特定应用集成电路(ASIC)芯片。
在一些实施例中,第一电子元件的伪凸块位于第二电子元件和功能凸块阵列之间。
在一些实施例中,第二电子元件的下表面具有第二凸块,第二凸块与伪凸块之间具有第三距离,伪凸块与边界之间具有第一距离,第一距离与第三距离的比值位于0至0.5的范围内。
在一些实施例中,功能凸块阵列、伪凸块和第二凸块位于同一平面内。
在一些实施例中,伪凸块包括位于下表面上的凸块下金属和位于凸块下金属上的第二焊料。
在一些实施例中,伪凸块物理接触线路层中的第四金属层。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造