[发明专利]一种MEMS传感器热学参数测试装置

权利要求书

1.一种MEMS传感器热学参数测试装置，其特征在于，包括顶板(1)，所述顶板(1)顶部侧壁中间固定连接有集成箱(6)，所述顶板(1)内部设立有内槽(14)，所述内槽(14)内底部侧壁中间固定连接有放置板(3)，所述放置板(3)内连接有盛放板(31)，所述内槽(14)内底部侧壁且靠近放置板(3)一侧侧壁的位置开设有四个线槽(5)，所述内槽(14)内部上方设立有照射板(61)，所述顶板(1)底部固定连接有底座(2)，所述底座(2)内部一角设立有安装槽(22)，所述安装槽(22)内连接有风机(23)，所述底座(2)与顶板(1)的连接处且靠近一侧边沿的位置插接有冷却板(4)；

所述照射板(61)的底部侧壁镶嵌拆卸连接有加热灯(66)，所述照射板(61)顶部设立有衔接板(63)，所述衔接板(63)相对于照射板(61)的侧壁中间连接有主伸缩杆(64)，所述主伸缩杆(64)的两侧均设立有一个辅助伸缩杆(65)，所述主伸缩杆(64)和辅助伸缩杆(65)的输出端转动连接在照射板(61)的顶部侧壁上；

所述风机(23)的一侧连接有送风管(24)，所述送风管(24)的一端与冷却板(4)的通槽相通，所述风机(23)远离送风管(24)的一侧通过管道与外界连接。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS传感器热学参数测试装置，其特征在于：所述内槽(14)内底部且靠近一侧边沿处固定连接有转送板(15)，所述转送板(15)与冷却板(4)的通槽相通，所述转送板(15)内部为中空结构，所述转送板(15)相对于放置板(3)的一侧侧壁贯通开设有三个风口(16)，所述内槽(14)开口的两侧边沿转动连接有转轴(11)，所述转轴(11)的一侧固定连接有门板(12)，所述门板(12)中间贯通开设有观察口(13)，所述观察口(13)中间镶嵌拆卸连接有耐高温玻璃，所述门板(12)通过卡扣闭合在内槽(14)的开口处，所述门板(12)的三侧侧壁均固定连接有橡胶条。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS传感器热学参数测试装置，其特征在于：所述底座(2)靠近顶板(1)的边沿中间固定连接有控制面板(21)，所述安装槽(22)开设在底座(2)内顶部的一角处，所述风机(23)通过螺丝拆卸连接在安装槽(22)内底部侧壁上，所述送风管(24)的顶端通过安装槽(22)顶部侧壁与冷却板(4)的通槽连通，所述底座(2)的底部侧壁四角通过螺丝拆卸连接有隐藏式滚轮，所述线槽(5)的一端延伸进控制面板(21)上方，所述控制面板(21)上集成连接有温感器和数据显示屏。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS传感器热学参数测试装置，其特征在于：所述放置板(3)内相对的两侧侧壁转动连接有扭簧(35)，所述扭簧(35)的一侧固定连接有卡板(34)，所述卡板(34)远离扭簧(35)的一端为弧形结构，所述盛放板(31)相互远离的两侧侧壁上均开设有卡槽(33)，所述卡板(34)卡接在卡槽(33)内，所述卡槽(33)与卡板(34)结构相对应，所述盛放板(31)顶部边沿穿插连接有螺钉(32)，所述盛放板(31)通过螺钉(32)拆卸连接在放置板(3)的侧壁顶端上，所述盛放板(31)内部放置有MEMS传感器。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS传感器热学参数测试装置，其特征在于：所述集成箱(6)内底部侧壁中间通过螺丝拆卸连接有电机(62)，所述电机(62)的输出端延伸进内槽(14)且拆卸连接在衔接板(63)的顶侧壁中间，所述照射板(61)为喇叭形结构，所述主伸缩杆(64)和辅助伸缩杆(65)远离照射板(61)的一端通过螺丝拆卸连接在衔接板(63)底部侧壁上，所述主伸缩杆(64)和辅助伸缩杆(65)通过转珠与照射板(61)转动连接，所述主伸缩杆(64)和辅助伸缩杆(65)均为电动伸缩杆，所述主伸缩杆(64)、辅助伸缩杆(65)和电机(62)供能组件均连接有集成箱(6)内。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS传感器热学参数测试装置，其特征在于：所述放置板(3)相对于线槽(5)的一侧侧壁贯通开设有通槽，所述加热灯(66)为电热管，所述加热灯(66)电源安装在集成箱(6)内部。