[发明专利]一种MEMS传感器热学参数测试装置

说明书

本发明公开了一种MEMS传感器热学参数测试装置，包括顶板，顶板顶部侧壁中间固定连接有集成箱，顶板内部设立有内槽，内槽内底部侧壁中间固定连接有放置板，放置板内连接有盛放板，内槽内底部侧壁且靠近放置板一侧侧壁的位置开设有四个线槽，内槽内部上方设立有照射板，顶板底部固定连接有底座，底座内部一角设立有安装槽，安装槽内连接有风机，本发明通过将冷却水经由暂存箱送进存放管内，从而使吹出的风温度较低，以此降低内槽中的温度，从而测试传感器对于温度变换敏感性和精准性，通过主伸缩杆和辅助伸缩杆的配合能够调节照射板的高度和角度，以此来测试传感器对不同方位热源的感应能力。

技术领域：

本发明属于一种MEMS传感器测试相关结构技术领域，特别涉及一种MEMS传感器热学参数测试装置。

背景技术：

MEMS传感器是现在众多传感器中的一种，其是一种微机电系统，随着科技的发展，现在MEMS传感器应用的领域现在非常的广泛，就有体积小、重量轻、造价低和可靠性高等优点。

现在的MEMS传感器在生产出来后需要进行测试，现在MEMS传感器对于热学的参数测试比较简便，大都是通过简单的加热管对测试区进行升温加热，但是无法进行调节，在实际应用过程中热源不是固定，而使存在一定的活动性，通过固定式测试装置检测出来的数据不够精准，导致传感器在实际使用时存在很多问题。

发明内容：

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种MEMS传感器热学参数测试装置，通过主伸缩杆和辅助伸缩杆等部件，能够有效的解决上述的现在的MEMS传感器在生产出来后需要进行测试，现在MEMS传感器对于热学的参数测试比较简便，大都是通过简单的加热管对测试区进行升温加热，但是无法进行调节，在实际应用过程中热源不是固定，而使存在一定的活动性，通过固定式测试装置检测出来的数据不够精准，导致传感器在实际使用时存在很多问题的技术问题。

为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：一种MEMS传感器热学参数测试装置，包括顶板，所述顶板顶部侧壁中间固定连接有集成箱，所述顶板内部设立有内槽，所述内槽内底部侧壁中间固定连接有放置板，所述放置板内连接有盛放板，所述内槽内底部侧壁且靠近放置板一侧侧壁的位置开设有四个线槽，所述内槽内部上方设立有照射板，所述顶板底部固定连接有底座，所述底座内部一角设立有安装槽，所述安装槽内连接有风机，所述底座与顶板的连接处且靠近一侧边沿的位置插接有冷却板；

所述照射板的底部侧壁镶嵌拆卸连接有加热灯，所述照射板顶部设立有衔接板，所述衔接板相对于照射板的侧壁中间连接有主伸缩杆，所述主伸缩杆的两侧均设立有一个辅助伸缩杆，所述主伸缩杆和辅助伸缩杆的输出端转动连接在照射板的顶部侧壁上；

所述风机的一侧连接有送风管，所述送风管的一端与冷却板的通槽相通，所述风机远离送风管的一侧通过管道与外界连接。

作为优选，所述内槽内底部且靠近一侧边沿处固定连接有转送板，所述转送板与冷却板的通槽相通，所述转送板内部为中空结构，所述转送板相对于放置板的一侧侧壁贯通开设有三个风口，所述内槽开口的两侧边沿转动连接有转轴，所述转轴的一侧固定连接有门板，所述门板中间贯通开设有观察口，所述观察口中间镶嵌拆卸连接有耐高温玻璃，所述门板通过卡扣闭合在内槽的开口处，所述门板的三侧侧壁均固定连接有橡胶条。

作为优选，所述底座靠近顶板的边沿中间固定连接有控制面板，所述安装槽开设在底座内顶部的一角处，所述风机通过螺丝拆卸连接在安装槽内底部侧壁上，所述送风管的顶端通过安装槽顶部侧壁与冷却板的通槽连通，所述底座的底部侧壁四角通过螺丝拆卸连接有隐藏式滚轮，所述线槽的一端延伸进控制面板上方，所述控制面板上集成连接有温感器和数据显示屏。

作为优选，所述放置板内相对的两侧侧壁转动连接有扭簧，所述扭簧的一侧固定连接有卡板，所述卡板远离扭簧的一端为弧形结构，所述盛放板相互远离的两侧侧壁上均开设有卡槽，所述卡板卡接在卡槽内，所述卡槽与卡板结构相对应，所述盛放板顶部边沿穿插连接有螺钉，所述盛放板通过螺钉拆卸连接在放置板的侧壁顶端上，所述盛放板内部放置有MEMS传感器。