[发明专利]一种压电惯性驱动装置

说明书

本发明涉及驱动装置技术领域，公开了一种压电惯性驱动装置。其包括基座、滑动件和压电驱动模块。滑动件与基座滑动配合并能够沿第一方向滑动，滑动件的一侧设置有用于承载负载的承载面，另一侧设置有垂直于承载面的摩擦面，摩擦面与承载面均沿第一方向延伸；压电驱动模块设置于基座上，压电驱动模块位于滑动件设置摩擦面的一侧，压电驱动模块包括压电元件和第一摩擦件，压电元件能够沿第一方向伸缩，压电元件与第一摩擦件柔性连接，第一摩擦件与摩擦面之间摩擦接触。本发明避免了负载重力对于摩擦副内的摩擦力的影响，提高了压电惯性驱动装置的带载能力。

技术领域

本发明涉及驱动装置技术领域，尤其涉及一种压电惯性驱动装置。

背景技术

随着精密制造、半导体、医疗设备等行业的发展，高精度、高分辨率的精密运动驱动装置的市场需求日益增多，各种新结构、新技术不断涌现。压电惯性电机作为精密运动驱动装置的一种，目前已被广泛认知，诸如美国专利US10250164B2所述的惯性电机，其原理是通过摩擦副之间的“粘滞-滑移”效应和压电陶瓷的驱动而产生位移。

目前的惯性电机包括由上至下依次设置的滑动平台、压电驱动模块和底座。滑动平台的底部贴合有摩擦面，压电驱动模块的顶部设置有摩擦块，摩擦面与摩擦块之间形成摩擦副。

现有技术提供的惯性电机，由于滑动平台和滑动平台上方的负载的重力会作用在压电驱动模块上，使得摩擦块与摩擦面之间的压力较大，造成摩擦副之间的预紧力增大，较高的预紧力随之会带来滑移阶段的阻力加大，造成电机带载能力受限。

基于此，亟需一种压电惯性驱动装置用来解决如上提到的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种压电惯性驱动装置，避免了负载重力对于摩擦副内的摩擦力的影响，保证了压电惯性驱动装置的带载能力。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种压电惯性驱动装置，包括：

基座；

滑动件，与所述基座滑动配合并能够沿第一方向滑动，所述滑动件的一侧设置有用于承载负载的承载面，另一侧设置有与所述承载面相垂直的摩擦面，所述摩擦面与所述承载面均沿所述第一方向延伸；

压电驱动模块，设置于所述基座上，所述压电驱动模块位于所述滑动件设置所述摩擦面的一侧，所述压电驱动模块包括压电元件和第一摩擦件，所述压电元件沿所述第一方向伸缩，所述压电元件与所述第一摩擦件柔性连接，所述第一摩擦件与所述摩擦面之间摩擦接触。

作为一种压电惯性驱动装置的可选技术方案，所述摩擦面在第二方向上间隔且相对设置有两个，所述第二方向垂直于所述摩擦面，所述压电驱动模块设置有至少两个所述第一摩擦件，每个所述摩擦面与至少一个所述第一摩擦件摩擦接触。

作为一种压电惯性驱动装置的可选技术方案，所述压电驱动模块还包括安装部和柔性部，所述柔性部包括两个在所述第二方向上间隔设置的柔性臂，所述安装部与所述基座连接，且所述压电元件固定在所述安装部上，每个所述柔性臂的侧壁上设置至少一个所述第一摩擦件，两个所述柔性臂的一端均连接于所述安装部，且所述柔性臂位于所述压电元件沿所述第一方向的一端，两个所述柔性臂的另一端之间设置调节间隙。

作为一种压电惯性驱动装置的可选技术方案，每个所述柔性臂均包括第一柔性臂和第二柔性臂，所述第一柔性臂和所述第二柔性臂的连接处设置第一刚性件，所述第一摩擦件设置于所述第一刚性件上，所述第一柔性臂远离所述第二柔性臂的一端连接于所述安装部，两个所述第二柔性臂远离所述第一柔性臂的端部之间设置所述调节间隙。

作为一种压电惯性驱动装置的可选技术方案，所述基座上设置有支撑件，所述支撑件上设有可活动的第一调节件，所述第一调节件正对所述调节间隙设置，且所述第一调节件能够伸入所述调节间隙并改变所述调节间隙的大小。