[发明专利]工艺参数根因定位方法和相关装置

权利要求书

1.一种工艺参数根因定位方法，其特征在于，所述方法包括：

分别将制程参数和样本产出时间划分为多个子区间，得到多个第一子区间和多个第二子区间；

分别针对每个所述第一子区间和每个所述第二子区间，确定各所述第一子区间的中位数，生成第一参数数据，确定各所述第二子区间的中位数，生成第一时间数据；

对样本标签和所述第一参数数据进行第一处理后，得到参数趋势波动的相关系数；

对所述样本标签、所述制程参数数据以及所述第一时间数据进行第二处理，得到参数时序趋势波动的相关系数；

基于所述参数趋势波动的相关系数和所述参数时序趋势波动的相关系数，计算得到制程参数综合指标；

其中，当所述制程参数包括多种类型时，分别计算每种类型的制程参数的类型参数综合指标，将多个类型参数综合指标的大小降序排序；

获取排序在前的制程参数综合指标；

确定获取的制程参数综合指标对应的制程参数可疑；

基于可疑的制程参数，确定对制程设备的修正方向。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别将制程参数和样本产出时间划分为多个子区间，得到多个第一子区间和多个第二子区间的步骤，包括：

提取制程参数和所述制程参数对应的样本标签；

通过回归数最优分箱算法，将所述制程参数进行区间切分，得到多个第一子区间；

获取所述制程参数、对应的样本标签以及对应的样本产出时间；

基于所述制程参数和所述对应的样本标签，将所述样本产出时间划分为多个第二子区间。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别针对每个所述第一子区间和每个所述第二子区间，确定各所述第一子区间的中位数，生成第一参数数据，确定各所述第二子区间的中位数，生成第一时间数据的步骤，包括：

针对每个所述第一子区间，确定所述第一子区间中的第一中位数；

将所述第一中位数作为落入所述第一子区间范围参数值的匹配映射值，将匹配映射值作为变换后的第一参数数据；

针对每个所述第二子区间，确定所述第二子区间中的第二中位数；

将所述第二中位数作为落入所述第二子区间范围时间的匹配映射值，将匹配映射值作为变换后的第一时间数据。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对样本标签和所述第一参数数据进行第一处理后，得到参数趋势波动的相关系数的步骤，包括：

将所述第一参数数据进行分组；

确定每个所述分组的组别值；

计算每个所述分组对应的标签的第一平均值；

计算所述第一平均值和所述组别值的第一pearson相关系数；

将所述第一参数数据的分组的所述组别值中心化处理；

取中心化处理后的第一组别值的第一绝对值组；

计算所述第一绝对值组和每个组对应的标签的所述第一平均值的第二pearson相关系数。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述对所述样本标签、所述制程参数数据以及所述第一时间数据进行第二处理，得到参数时序趋势波动的相关系数的步骤，包括：

将所述第一时间数据、所述制程参数以及所述样本标签，按照时间顺序排序，得到排序后的第二时间数据、第二制程参数以及第二样本标签；

将所述第二制程参数按照所述第二时间数据进行分组，确定每个分组的制程参数的第二平均值和标签的第三平均值；

计算所述第二平均值和所述第三平均值的第三pearson相关系数；

将每个分组的制程参数的第二平均值中心化处理；

取中心化处理后的第二平均值的第二绝对值组；

计算所述第二绝对值组和所述第三平均值的第四pearson相关系数。