[发明专利]一种探针卡针脚修复整形装置

权利要求书

1.一种探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构，所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座，所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架，所述探针卡托架集成有气动夹具，所述探针卡托架之间竖直向下布置有设置在镜座上的显微镜，所述显微镜镜头处外挂有折射补偿机构，所述折射补偿机构的正下方水平布置有麦拉片载具，所述麦拉片载具设置在水平布置的光轴的一端外周面，所述光轴通过校准机构活动架设在麦拉校准座上。

2.根据权利要求1 所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述镜座由支架和三轴滑台组成，所述支架顶端安装有三轴滑台，所述三轴滑台上安装有显微镜。

3.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述折射补偿机构由挂板、加载气缸、补偿滑板组成，所述挂板设置在显微镜镜头处，所述挂板的底面设置有由加载气缸驱动的补偿滑板，所述补偿滑板上设置有折射补偿玻璃片卡槽，所述折射补偿玻璃片卡槽匹配在所述显微镜的光路上。

4.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述气动夹具由探针卡压板和升降气缸组成，所述升降气缸竖直向上内嵌于探针卡托架内，所述探针卡压板水平设置在探针卡托架的正上方并且与升降气缸相连。

5.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述校准机构由三轴微调平台、转接板、轴承、拨轮、同步凸轮、检测开关组成，

所述麦拉校准座上设置三轴微调平台，所述三轴微调平台连接转接板，所述转接板上设置轴承，所述轴承套接光轴，所述光轴的另一端同轴设置拨轮和同步凸轮，所述转接板上设置有匹配同步凸轮的检测开关，所述检测开关通过电磁阀与折射补偿机构电性连接。

6.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述作业台下方设置有深沟球轴承，所述深沟球轴承下设连接有两轴平移滑台，所述两轴平移滑台设置有x轴向螺旋测微器、y轴向螺旋测微器以及角度调节螺旋测微器，所述两轴平移滑台边缘为每个x轴向螺旋测微器、y轴向螺旋测微器、角度调节螺旋测微器配备反向外接的复位弹簧。

7.根据权利要求5所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述轴承由同心结构的双头轴座和四个角接触轴承组成，所述同心结构的双头轴座安装在转接板上，所述角接触轴承两两同轴固定在同心结构的双头轴座的两端。

8.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述作业台上开设有槽孔，所述槽孔内配有限位螺栓，所述探针卡托架通过限位螺栓固定在槽孔内。

9.根据权利要求7所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述同心结构的双头轴座的外端设置有一对限位挡杆，所述光轴上设置有与所述限位挡杆配合的摆杆，所述摆杆在限位挡杆之间随拨轮有限摆动。

10.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述三轴滑台上设置有一对球头控制杆，所述球头控制杆对称布置在显微镜两侧。