[发明专利]一种探针卡针脚修复整形装置

说明书

本发明公开一种探针卡针脚修复整形装置，包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构，所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座，所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架，所述探针卡托架集成有气动夹具，所述探针卡托架之间竖直向下布置有设置在镜座上的显微镜，所述显微镜镜头处外挂有折射补偿机构。通过上述方式，本发明提供一种探针卡针脚修复整形装置，通过不断对触点点位位置与针脚的对比观察，能快速找出异位针脚并校准修复，整形后的探针卡即可快速恢复正常使用，具有操作方便、成功率高等特性。

技术领域

本发明涉及探针卡加工装置领域，尤其涉及一种探针卡针脚修复整形装置。

背景技术

探针卡上有很多针脚，针脚在使用过程中可能受力变形弯曲，异位的针脚无法再与芯片触点对位，导致使用中测不到电信号。探针卡针脚大小约20~30μm，对异位针脚实施修复整形的操作难度大，成功率低，导致探针卡报废率较高。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种探针卡针脚修复整形装置，在探针卡针脚位稳定加载麦拉片，在显微镜光路上建立基准的触点参考点位，通过不断对触点点位位置与针脚的对比观察，能快速找出异位针脚并校准修复，整形后的探针卡即可快速恢复正常使用，具有操作方便、成功率高等特性。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种探针卡针脚修复整形装置，包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构，所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座，所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架，所述探针卡托架集成有气动夹具，所述探针卡托架之间竖直向下布置有设置在镜座上的显微镜，所述显微镜镜头处外挂有折射补偿机构，所述折射补偿机构的正下方水平布置有麦拉片载具，所述麦拉片载具设置在水平布置的光轴的一端外周面，所述光轴通过校准机构活动架设在麦拉校准座上。

在本发明一个较佳实施例中，所述镜座由支架和三轴滑台组成，所述支架顶端安装有三轴滑台，所述三轴滑台上安装有显微镜。

在本发明一个较佳实施例中，所述折射补偿机构由挂板、加载气缸、补偿滑板组成，所述挂板设置在显微镜镜头处，所述挂板的底面设置有由加载气缸驱动的补偿滑板，所述补偿滑板上设置有折射补偿玻璃片卡槽，所述折射补偿玻璃片卡槽匹配在所述显微镜的光路上。

在本发明一个较佳实施例中，所述气动夹具由探针卡压板和升降气缸组成，所述升降气缸竖直向上内嵌于探针卡托架内，所述探针卡压板水平设置在探针卡托架的正上方并且与升降气缸相连。

在本发明一个较佳实施例中，所述校准机构由三轴微调平台、转接板、轴承、拨轮、同步凸轮、检测开关组成，

所述麦拉校准座上设置三轴微调平台，所述三轴微调平台连接转接板，所述转接板上设置轴承，所述轴承套接光轴，所述光轴的另一端同轴设置拨轮和同步凸轮，所述转接板上设置有匹配同步凸轮的检测开关，所述检测开关通过电磁阀与折射补偿机构电性连接。

在本发明一个较佳实施例中，所述作业台下方设置有深沟球轴承，所述深沟球轴承下设连接有两轴平移滑台，所述两轴平移滑台设置有x轴向螺旋测微器、y轴向螺旋测微器以及角度调节螺旋测微器，所述两轴平移滑台边缘为每个x轴向螺旋测微器、y轴向螺旋测微器、角度调节螺旋测微器配备反向外接的复位弹簧。

在本发明一个较佳实施例中，所述轴承由同心结构的双头轴座和四个角接触轴承组成，所述同心结构的双头轴座安装在转接板上，所述角接触轴承两两同轴固定在同心结构的双头轴座的两端。

在本发明一个较佳实施例中，所述作业台上开设有槽孔，所述槽孔内配有限位螺栓，所述探针卡托架通过限位螺栓固定在槽孔内。

在本发明一个较佳实施例中，所述同心结构的双头轴座的外端设置有一对限位挡杆，所述光轴上设置有与所述限位挡杆配合的摆杆，所述摆杆在限位挡杆之间随拨轮有限摆动。