[发明专利]工件升降装置及工件升降方法

说明书

本发明为一种工件升降装置，具有：载置工件的工件台；可动液体罐；固定液体罐；带轮；一端与所述工件台连结，另一端与所述可动液体罐连结并且卷绕在所述带轮上的绳体；将所述可动液体罐与所述固定液体罐连通的第一液体通路；将所述可动液体罐与所述固定液体罐连通的第二液体通路；使所述可动液体罐保持的所述液体经由所述第一液体通路向所述固定液体罐移动的第一液体控制部；使所述固定液体罐保持的所述液体经由所述第二液体通路向所述可动液体罐移动的第二液体控制部。

技术领域

本发明涉及一种工件升降装置及工件升降方法，特别地涉及一种能够无需将液体容器设为密闭状态而能够长期稳定地使工件台升降的工件升降装置及工件升降方法。

背景技术

例如在日本特开2008-230836中记载了一种工件升降装置，在该工件升降装置中，通过软管而对由卷绕在从动带轮上的线缆悬吊的两个液体容器进行相互连通，并将任一个密闭状态的液体容器内的空气排出到外部而使该一个液体容器内成为负压，由此经由所述软管而使液体在两者之间移动，使两者之间的重量平衡变化，从而使设置在任一个液体容器的工件台升降。

发明内容

但是，在日本特开2008-230836中记载的工件升降装置中，由于液体罐的破裂、腐蚀等，难以长期地维持液体容器的密闭性，液体容器保持的液体泄漏到液体容器外部、液体容器内的空气不能够充分地排出到外部，因此存在不能够长期稳定地使工件台升降的问题。

本发明是为了解决这样的问题而完成的，提供一种能够无需将液体容器设为密闭状态而能够长期稳定地使工件台升降的工件升降装置及工件升降方法。

本发明的工件升降装置，具有：工件台，其载置工件；可动液体罐，其对液体进行保持；固定液体罐，其对液体进行保持；带轮；绳体，其一端与所述工件台连结，另一端与所述可动液体罐连结，并且卷绕在所述带轮上；第一液体通路，其将所述可动液体罐与所述固定液体罐连通；第二液体通路，其将所述可动液体罐与所述固定液体罐连通；第一液体控制部，其使所述可动液体罐保持的所述液体经由所述第一液体通路向所述固定液体罐移动；第二液体控制部，其使所述固定液体罐保持的所述液体经由所述第二液体通路向所述可动液体罐移动，所述第一液体控制部使所述可动液体罐保持的所述液体经由所述第一液体通路向所述固定液体罐移动，由此使所述工件台上升，所述第二液体控制部使所述固定液体罐保持的所述液体经由所述第二液体通路向所述可动液体罐移动，由此使所述工件台下降。

通过这样的结构，无需使可动液体罐成为密闭状态，能够长期稳定地使工件台升降。

其原因为，具有使可动液体罐保持的液体经由第一液体通路向固定液体罐移动的第一液体控制部、以及使固定液体罐保持的液体经由第二液体通路向可动液体罐移动的第二液体控制部。即，第一液体控制部使可动液体罐保持的液体经由第一液体通路向固定液体罐移动，由此使工件台上升，并且第二液体控制部使固定液体罐保持的液体经由第二液体通路向可动液体罐移动，由此使工件台下降。

在此，在所述可动液体罐形成液体排出口，所述液体排出口排出从该可动液体罐的底面超过规定高度供给的所述液体，还具有将所述液体排出口与所述固定液体罐连通的第三液体通路。

以此方式，超过规定高度供给到可动液体罐的液体经由液体排出口及第三液体通路排出至固定液体罐。由此，能够将可动液体罐的重量保持为固定，因此能够长期稳定地使工件台升降。例如，即使在第二液体控制部发生故障，使固定液体罐保持的液体经由第二液体通路继续向可动液体罐移动的情况下，也能够将可动液体罐的重量保持为固定，因此能够长期稳定地使工件台升降。此外，即使在由于其他原因，超过规定高度的液体被供给到可动液体罐的情况下，也能够将可动液体罐的重量保持为固定，因此能够长期稳定地使工件台升降。

此外，还可以具有对所述规定高度进行调节的调节单元。

以此方式，也能够应对重量不同的其他工件。也就是说，即使是重量不同的其他工件，通过调节规定高度，也能够长期稳定地使工件台升降。