[发明专利]一种放空尾气中三氟化氮气体的回收设备和回收方法

权利要求书

1.一种放空尾气中三氟化氮气体回收设备，其特征在于：包括一级回收塔(5)和二级回收塔(12)，所述二级回收塔(12)的一端连接有第二模压机(9)，所述第二模压机(9)的一端连接有纯化输送管线(2)，所述一级回收塔(5)的上端连接有第一连接管(14)，所述第一连接管(14)的一端连接在纯化输送管线(2)的一侧，所述二级回收塔(12)的上端连接有第二连接管(10)，所述纯化输送管线(2)的一端连接在第二连接管(10)的上端，所述第二连接管(10)的一端连接有固定管(11)，所述纯化输送管线(2)上连接有导出管(1)；

所述一级回收塔(5)的另一侧端还连接有第一模压机(6)。

2.根据权利要求1所述的一种放空尾气中三氟化氮气体回收设备，其特征在于，所述一级回收塔(5)和二级回收塔(12)的上端一侧分别连接有冷氮气排出管(4)，所述一级回收塔(5)和二级回收塔(12)的下端一侧分别连接有液氮输送管(13)。

3.根据权利要求1所述的一种放空尾气中三氟化氮气体回收设备，其特征在于，所述第一模压机(6)和第二模压机(9)的下端分别固定有安装支架(8)。

4.根据权利要求1所述的一种放空尾气中三氟化氮气体回收设备，其特征在于，所述第一模压机(6)的下端连接有尾气放空管(7)。

5.根据权利要求1所述的一种放空尾气中三氟化氮气体回收设备，其特征在于，所述第一连接管(14)和第二连接管(10)的上分别安装有减压阀(3)。

6.一种放空尾气中三氟化氮气体回收方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将预处理阶段放空尾气先经过第一模压机(6)加压，使放空尾气进入一级回收塔(5)；

S2、在一级回收塔(5)里利用液氮控制回收，将放空尾气中大部分三氟化氮液化；

S3、将经过一级回收塔(5)处理的剩余尾气再经过第二模压机(9)再次加压，使其进入二级回收塔(12)，压力与温度与一级回收塔(5)参数相同，实现剩余三氟化氮进一步回收；

S4、经过二级回收塔(12)的二级回收，从固定管(11)排出的尾气中三氟化氮含量达到3ppm以下；当一级回收塔(5)液位达到塔高1/2或二级回收塔(12)的液位达到塔高的1/3时，转至备用回收设备回收，对一级回收塔(5)和二级回收塔(12)进行升温，气化后的三氟化氮通过导出管(1)送入后续纯化工段：经过裂解、水洗、还原、碱洗、连续精馏等工序，得到99.995％以上的高纯三氟化氮气体。

7.根据权利要求6所述的一种放空尾气中三氟化氮气体回收方法，其特征在于，在S1中，所述第一模压机(6)的压力为5-7MPa。

8.根据权利要求6所述的一种放空尾气中三氟化氮气体回收方法，其特征在于，在S1中，放空尾气为生产中预处理阶段的放空尾气，其成分包括以下体积百分数的气体：氮气98％-98.5％、三氟化氮1％～1.5％，余量为二氧化碳、氢气及其杂质。

9.根据权利要求6所述的一种放空尾气中三氟化氮气体回收方法，其特征在于，在S2中，液氮控制回收的温度控制在-45℃到-95℃。