[发明专利]一种放空尾气中三氟化氮气体的回收设备和回收方法

说明书

本发明提供了一种放空尾气中三氟化氮气体回收设备，包括一级回收塔和二级回收塔，所述一级回收塔的上端连接有第一连接管，所述二级回收塔的上端连接有第二连接管，所述一级回收塔的一端连接有第一模压机，所述二级回收塔的一端连接有第二模压机，所述第二模压机的一端连接有纯化输送管线；本发明还公开了一种放空尾气中三氟化氮气体回收方法，包括以下步骤。本发明利用模压机将放空尾气进行加压至回收塔，利用液氮控制回收塔温度，进而实现尾气中三氟化氮回收，实现排放尾气中三氟化氮达标排放，本发明的回收工艺中，既保证尾气达标排放，符合环保要求，又提高了生产中三氟化氮收集率，提高经济效益。

技术领域

本发明属于及三氟化氮回收技术领域，具体涉及一种放空尾气中三氟化氮气体的回收设备和回收方法。

背景技术

三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂，三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅)，它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。

但是，目前在三氟化氮的制备过程中收集率低，放空尾气中三氟化氮的含量排放不达标，污染空气；为此，我们提出了一种放空尾气中三氟化氮气体回收设备及方法来解决上述问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种放空尾气中三氟化氮气体回收设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：

第一方面，一种放空尾气中三氟化氮气体回收设备，包括一级回收塔和二级回收塔，所述二级回收塔的一端连接有第二模压机，所述第二模压机的一端连接有纯化输送管线，所述一级回收塔的上端连接有第一连接管，所述第一连接管的一端连接在纯化输送管线的一侧，所述二级回收塔的上端连接有第二连接管，所述纯化输送管线的一端连接在第二连接管的上端，所述第二连接管的一端连接有固定管，所述纯化输送管线上连接有导出管；

所述一级回收塔的另一侧端还连接有第一模压机。

进一步的，所述一级回收塔和二级回收塔的上端一侧分别连接有冷氮气排出管，所述一级回收塔和二级回收塔的下端一侧分别连接有液氮输送管。

进一步的，所述第一模压机和第二模压机的下端分别固定有安装支架。

进一步的，所述第一模压机的下端连接有尾气放空管。

进一步的，所述第一连接管和第二连接管的上端分别安装有减压阀。

第二方面，一种放空尾气中三氟化氮气体回收方法，包括以下步骤：

S1、将预处理阶段放空尾气先经过第一模压机加压，使放空尾气进入一级回收塔；

S2、在一级回收塔里利用液氮控制回收，将放空尾气中大部分三氟化氮液化；

S3、将经过一级回收塔处理的剩余尾气再经过第二模压机再次加压，使其进入二级回收塔，压力与温度与一级回收塔参数相同，实现剩余三氟化氮进一步回收；

S4、经过二级回收塔的二级回收，尾气中三氟化氮含量达到3ppm以下，当回收塔液位达到1/3时，对二级回收塔进行升温，气化后的三氟化氮通过导出管进纯化工段进一步提纯。

进一步的，在S1中，所述第一模压机的压力为5-7MPa。