[发明专利]污染检测方法、分光检测方法、分光管理方法及系统在审
申请号: | 202111121098.2 | 申请日: | 2021-09-24 |
公开(公告)号: | CN113866135A | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 刘轩;刘骏;张嘉鸿;谭艳娥;黄新青;幸刚;蔡建镁 | 申请(专利权)人: | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01N21/59 | 分类号: | G01N21/59 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 黄勇;任志龙 |
地址: | 518051 广东省深圳市南山区桃源街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 污染 检测 方法 分光 管理 系统 | ||
1.一种污染检测方法,其特征在于,包括:
光照处理,采用检测光照射透明转盘的置料位,以使检测光穿过透明转盘;
基于穿出透明转盘的检测光,确定测定参数;其中,所述测定参数能够反映透明转盘的透光程度;
偏差获取,基于所述测定参数,获取偏差参数;其中,所述偏差参数能够反映透明转盘的污染程度;
基于所述偏差参数与偏差阈值,输出清洁信号;其中,所述偏差阈值用于反映透明转盘污染程度的允许范围。
2.根据权利要求1所述的污染检测方法,其特征在于,在偏差获取步骤中,还包括:
判断数据库中是否存在基础参数,若否则执行参数校正步骤,若是则执行偏差确定步骤;其中,基础参数能够反映透明转盘在参数校正步骤时的透光程度;
参数校正,基于测定参数与原始参数,获取基础参数,将基础参数存储至数据库,并且返回光照处理步骤;其中,所述原始参数对应于检测光发出时的光学参数;
偏差确定,基于测定参数与基础参数,获取偏差参数。
3.根据权利要求2所述的污染检测方法,其特征在于,在偏差获取步骤之前,还包括:实时接收校正指令,并根据校正指令,在数据库中清除基础参数。
4.一种分光检测方法,其特征在于,包括权利要求2至3中任意一项所述的污染检测方法,还包括:
工件上料,将LED置于透明转盘的置料位;
工件分级, 根据LED的亮度变化确定工件测试参数,基于工件测试参数和工件标准参数,确定工件分光等级;其中,工件标准参数关联于标准LED发出光穿出透明转盘后所对应的光学参数,工件测实测参数用于反映穿出透明转盘的LED发出光的光学参数;
工件转移,基于工件分光等级,将LED自置料位转移至对应于工件分光等级的分光收集区;
污染清洁,基于清洁信号,清空当前透明转盘上的LED,对透明转盘进行清洁。
5.根据权利要求4所述的分光检测方法,其特征在于,在清洁污染的步骤中,包括:
转盘清空,停止将LED上料至透明转盘,并将透明转盘已承载的LED全部转移;
转盘清洁,将透明转盘高度降低,对透明转盘上所有置料位的上表面与下表面进行清洁。
6.根据权利要求5所述的分光检测方法,其特征在于,在转盘清空的步骤中,基于清洁信号,立即停止将LED上料至透明转盘的动作。
7.根据权利要求5所述的分光检测方法,其特征在于,在转盘清空步骤中,基于清洁信号,自被检测的置料位开始停止将LED上料至透明转盘的动作。
8.一种分光管理方法,其特征在于,包括权利要求4至8中任意一项所述的分光检测方法,在工件分级步骤之前,还包括:
标准更新,基于校正条件,更新工件标准参数;其中,校正条件包括:分光检测的工件数量达到设定值或分光检测的时间达到设定值。
9.根据权利要求8所述的分光管理方法,其特征在于,在标准确定步骤中,还包括:基于校正条件,发送校正指令,以使基础参数从数据库中清除。
10.一种分光管理系统,其特征在于,包括:
工件上料模组,用于将LED置于透明转盘的置料位;
工件分级模组,用于根据LED的亮度变化确定工件参数,基于工件测试参数和工件标准参数,确定工件分光等级;
工件转移模组,用于根据工件分光等级将LED自置料位转移至与工件分光等级相对应的分光收集区;
污染检测模组,用于采用检测光穿过透明转盘的置料位,基于穿出透明转盘的检测光确定测定参数,基于所述测定参数与原始参数,获取偏差参数,基于所述偏差参数与偏差阈值输出清洁信号;其中,所述偏差参数能够反映透明转盘置料位处的污染程度,所述原始参数对应于检测光自然照射状态下的光学参数,所述偏差阈值与透明转盘的污染程度相关联;
清洁污染模组,用于基于清洁信号,清空当前透明转盘上的LED,并对透明转盘进行清洁。
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