[发明专利]微流控装置

权利要求书

1.一种微流控装置，其特征在于，包括相对设置的第一基板和第二基板，所述第一基板和所述第二基板之间形成空腔，所述空腔用于容纳液体；

所述第一基板包括多个驱动电极、多个第一电极，所述驱动电极位于所述第一电极朝向所述第二基板一侧，所述驱动电极呈阵列排布；

至少一个所述驱动电极上包括至少一个开口部，所述开口部沿垂直于所述第一基板所在平面的方向贯穿所述驱动电极；至少一个所述第一电极在所述第一基板所在平面的正投影至少覆盖一个所述开口部在所述第一基板所在平面的正投影；

所述第二基板包括至少一个第二电极，所述第二电极在所述第一基板所在平面的正投影与所述第一电极在所述第一基板所在平面的正投影至少部分交叠；

所述第一基板还包括疏水层，所述疏水层与所述空腔相邻设置，位于所述空腔靠近所述第一基板的一侧；

所述第二基板还包括疏水层，所述疏水层与所述空腔相邻设置，位于所述空腔靠近所述第二基板的一侧。

2.根据所述权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述第一电极包括多个第一子电极，所述多个第一子电极同层设置。

3.根据所述权利要求2所述的微流控装置，其特征在于，所述第一电极还包括多个第二子电极，所述多个第一子电极和所述多个第二子电极不同层且绝缘。

4.根据所述权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，任意相邻设置的两个所述驱动电极之间包括第一间隙，所述第一电极在所述第一基板所在平面的正投影至少覆盖部分所述第一间隙在所述第一基板所在平面的正投影。

5.根据所述权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，每一所述第一电极电连接一条探测信号线，所述探测信号线向所述第一电极传输探测信号。

6.根据所述权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述驱动电极在所述第一基板所在平面的正投影与多个所述第一电极在所述第一基板所在平面的正投影相交叠，与同一所述驱动电极在所述第一基板所在平面的正投影相交叠的多个所述第一电极，均电连接同一条探测信号线，所述探测信号线向所述第一电极传输探测信号。

7.根据所述权利要求3所述的微流控装置，其特征在于，所述第一子电极均沿第一方向延伸且沿第二方向排列，所述第二子电极均沿所述第二方向延伸且沿所述第一方向排列；所述第一方向与所述驱动电极所成阵列的行方向平行，所述第二方向与所述驱动电极所成阵列的列方向平行。

8.根据所述权利要求7所述的微流控装置，其特征在于，一行所述驱动电极在所述第一基板所在平面的正投影与多个所述第一子电极在所述第一基板所在平面的正投影相交叠；

与一行所述驱动电极在所述第一基板所在平面的正投影相交叠的多个所述第一子电极，均电连接至同一条第一探测信号总线，所述第一探测信号总线向多个所述第一子电极同时传输第一探测信号。

9.根据所述权利要求7所述的微流控装置，其特征在于，一列所述驱动电极在所述第一基板所在平面的正投影与多个所述第二子电极在所述第一基板所在平面的正投影相交叠；

与一列所述驱动电极在所述第一基板所在平面的正投影相交叠的多个所述第二子电极，均电连接至同一条第二探测信号总线，所述第二探测信号总线向多个所述第二子电极同时传输第二探测信号。

10.根据所述权利要求3所述的微流控装置，其特征在于，还包括与所述驱动电极一一对应的晶体管，所述晶体管用于向所述驱动电极加载驱动电压信号，相邻设置的所述驱动电极加载不同的所述驱动电压信号，驱动所述液体移动。

11.根据所述权利要求10所述的微流控装置，其特征在于，所述晶体管位于所述驱动电极远离所述第二基板一侧；所述晶体管在所述第一基板所在平面的正投影与所述驱动电极在所述第一基板所在平面的正投影相交叠。