[发明专利]微流控装置有效
申请号: | 202111121736.0 | 申请日: | 2021-09-24 |
公开(公告)号: | CN113769802B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 章凯迪;林柏全;席克瑞;李伟;白云飞;粟平 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼;胡振欣 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微流控 装置 | ||
本申请提供了一种微流控装置,涉及微流控技术领域。包括相对设置的第一基板和第二基板,第一基板和第二基板之间形成用于容纳液体的空腔;第一基板包括多个驱动电极、多个第一电极,驱动电极位于第一电极朝向第二基板一侧;至少一个驱动电极上包括至少一个开口部,开口部沿垂直于第一基板所在平面的方向贯穿驱动电极;至少一个第一电极在第一基板所在平面的正投影至少覆盖一个开口部在第一基板所在平面的正投影;第二基板包括至少一个第二电极,第二电极在第一基板所在平面的正投影与第一电极在第一基板所在平面的正投影至少部分交叠。通过第一电极经开口部与第二电极之间产生的电容,检测出驱动电极正投影表面内所存在的液滴的大小和准确位置。
技术领域
本发明涉及微流控技术领域,更具体地,涉及一种微流控装置。
背景技术
现有技术中,通常利用电润湿的原理,通过设置至少一个基板电压控制微流控装置中液体的流动位置。驱动液滴自动化移动的过程中,会发生液滴大小变化及电极上液滴的残留,影响后续试验精度;因此,在液体自动化移动的过程中,需要实时反馈液体、以及液体的残留液滴的具体位置,以便于精准控制。
但是,现有技术中,驱动电极都是完整设置的,通过位于驱动电极一侧设置的感应电极进行液滴位置检测时,只能对驱动电极特定位置的液滴进行检测,例如只能对至少部分位于相邻两个驱动电极之间间隙内的液滴进行检测,对不在该位置的液滴无法进行检测,检测准确度有限,且无法测量液滴大小和少量残余在驱动电极正投影内的液滴。因此,亟需提供一种检测机制,能够对位于电极表面正投影位置内的液滴残留进行检测,且能够对液滴的大小变化进行检测。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种微流控装置,用以改善现有技术中,无法对液滴的大小变化、液滴在电极表面正投影内的准确位置进行检测的问题。
本申请提供一种微流控装置,包括相对设置的第一基板和第二基板,第一基板和第二基板之间形成空腔,空腔用于容纳液体;
第一基板包括多个驱动电极、多个第一电极,驱动电极位于第一电极朝向第二基板一侧,驱动电极呈阵列排布;
至少一个驱动电极上包括至少一个开口部,开口部沿垂直于第一基板所在平面的方向贯穿驱动电极;至少一个第一电极在第一基板所在平面的正投影至少覆盖一个开口部在第一基板所在平面的正投影;
第二基板包括至少一个第二电极,第二电极在第一基板所在平面的正投影与第一电极在第一基板所在平面的正投影至少部分交叠。
与现有技术相比,本发明提供的一种微流控装置,至少实现了如下的有益效果:
本申请通过在微流控装置中的第一基板中的各个驱动电极上开设多个开口部,并在第一基板中驱动电极远离第二基板侧设置第一电极,通过该第一电极经开口部与第二基板上第二电极之间产生的电容变化,检测出驱动电极正投影表面内所存在的液滴的大小和准确位置,实现对于微流控装置内残留液滴的检测。
当然,实施本发明的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述,本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例,并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。
图1所示为本申请实施例提供的微流控装置的一种局部截面示意图;
图2所示为本申请实施例提供的驱动电极的一种俯视图;
图3所示为本申请实施例提供的微流控装置的另一种局部截面示意图;
图4所示为本申请实施例提供的微流控装置的另一种局部截面示意图;
图5所示为本申请实施例提供的微流控装置的另一种局部截面示意图;
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