[发明专利]一种IC芯片双拾取模组填盘设备在审
申请号: | 202111126270.3 | 申请日: | 2021-09-26 |
公开(公告)号: | CN113690168A | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 曾航 | 申请(专利权)人: | 苏州慧捷自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H05F3/04 |
代理公司: | 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) 32367 | 代理人: | 翁德亿 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ic 芯片 拾取 模组 设备 | ||
1.一种IC芯片双拾取模组填盘设备,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)的台面上设置有柔性振动供料平台组件(2)、IC托盘传送机构(4)、飞拍定位视觉装置(7),所述柔性振动供料平台组件(2)位于所述工作台(1)的台面中央位置,所述IC托盘传送机构(4)位于所述柔性振动供料平台组件(2)的两侧,所述飞拍定位视觉装置(7)位于所述柔性振动供料平台组件(2)和所述IC托盘传送机构(4)之间,所述柔性振动供料平台组件(2)和所述IC托盘传送机构(4)上方设置有龙门架(5),所述龙门架(5)的支架固定在所述工作台(1)的台面左右两侧,所述龙门架(5)的横梁(6)下表面的左右两侧通过对应的双驱动高速直线伺服电机(11)分别设置有一组可左右来回移动的取放头装置(3),所述龙门架(5)的横梁(6)前侧中部位置设置有定位视觉装置(8),所述定位视觉装置(8)设置在所述柔性振动供料平台组件(2)的正上方。
2.根据权利要求1所述的一种IC芯片双拾取模组填盘设备,其特征在于,所述柔性振动供料平台组件(2)包括柔性振动盘(202),所述柔性振动盘的下端设置有用于调节所述柔性振动盘(202)高度的高度调节块(204),所述柔性振动盘(202)的一侧设置有盛放IC芯片的振料盘(201),所述柔性振动盘(202)与所述IC芯片的振料盘(201)之间设置有直振器(205),所述振料盘(201)通过所述直振器(205)将IC芯片输送到所述柔性振动盘(202)上,所述柔性振动盘(202)的两侧设置有相互对称的抛料盒(203),所述振料盘(201)的开口正对面设置有用于去除IC芯片之间静电的第一离子风机(206)。
3.根据权利要求1所述的一种IC芯片双拾取模组填盘设备,其特征在于,所述取放头装置(3)包括电机固定架(301),所述电机固定架(301)的侧面设置有用于与所述双电机高速直线伺服电机连接的磁悬轨道(302),所述电机固定架(301)的下部设置有吸嘴固定支架(306),所述吸嘴固定支架(306)内部的前部设置有X轴压板(313),所述吸嘴固定支架(306)通过所述X轴压板(313)前表面上的滑轨与所述X轴压板(313)滑动连接,所述吸嘴固定支架(306)的前表面设置有Z轴压板(312),所述吸嘴固定支架(306)通过所述Z轴压板(312)前表面上的滑轨与所述Z轴压板(312)滑动连接,所述Z轴压板(312)的前部设置有一排旋转电机(303),每个所述旋转电机(303)的输出轴上均设置有一个吸嘴(304),每个所述吸嘴(304)分别与设置在所述吸嘴固定支架(306)内的真空电磁阀(307)连接,所述吸嘴固定支架(306)的内部设置有上下拨杆电机(308)和横移拨杆电机(311),所述上下拨杆电机(308)和所述横移拨杆电机(311)分别与位于所述吸嘴固定架(306)前部的上下拨杆(309)和横移拨杆(310)连接,所述横移拨杆电机(311)通过所述横移拨杆(310)带动所述吸嘴固定支架(306)在所述X轴压板(313)上左右移动,所述上下拨杆电机(308)通过所述上下拨杆(309)带动所述Z轴压板(312)上下移动。
4.根据权利要求1所述的一种IC芯片双拾取模组填盘设备,其特征在于,所述IC托盘传送机构(4)包括IC托盘上料机构(401)、IC托盘下料机构(402)及IC托盘搬运结构(403),所述IC托盘上料机构(401)与所述IC托盘下料机构(402)并排设置在所述IC托盘搬运结构(403)的前侧位置。
5.根据权利要求4所述的一种IC芯片双拾取模组填盘设备,其特征在于,所述IC托盘上料机构(401)包括第一固定板(4010),所述第一固定板(4010)上设置有用于放置IC托盘的上料托盘轨道(4013),所述上料托盘轨道(4013)上设置有将最下层托盘与其余托盘拆开的卡板机构(4015),所述第一固定板(4010)上设置有将最下层IC托盘降至所述上料托盘轨道(4013)上的双行程顶升气缸(4014),所述上料托盘轨道(4013)两端外侧分别设置有用于定位IC托盘位置的上料托盘限位立柱(4011),所述上料托盘轨道(4013)的一端设置有用于检测IC托盘是否降至在所述上料托盘轨道(4013)上的第一接近位置传感器(4012)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造