[发明专利]一种转移装置、转移设备及转移方法

权利要求书

1.一种转移装置，用于将目标基材转移至承载基材上，其特征在于，包括：

第一管道，所述第一管道包括第一端和第二端，所述第一端用于与流体源连接；

喷嘴组件，所述喷嘴组件设于所述第一管道的第二端，用于向对应的所述目标基材或所述承载基材喷射流体；

开关组件，设于所述第一管道上，用于控制所述第一管道的通断。

2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，包括调压组件，所述第一管道的第一端与所述调压组件连接，所述调压组件用于与流体源连接。

3.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述开关组件包括开关阀。

4.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述开关组件与所述喷嘴组件之间的距离大于0且小于等于200mm。

5.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，包括第二管道和泄压组件，所述第二管道一端与所述第一管道位于所述喷嘴组件和所述开关组件之间的部位连通，一端与所述泄压组件连通。

6.根据权利要求5所述的转移装置，其特征在于，所述泄压组件包括泄压阀。

7.根据权利要求5所述的转移装置，其特征在于，所述泄压组件与所述喷嘴组件之间的距离大于0且小于等于200mm。

8.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，还包括喷嘴连接管，所述喷嘴连接管一端与所述喷嘴组件中的流体喷出通道连通，另一端与所述第一管道连通。

9.根据权利要求8所述的转移装置，其特征在于，包括与所述喷嘴连接管连接的喷嘴驱动部，所述喷嘴驱动部用于带动所述喷嘴连接管以及所述喷嘴组件沿第一方向、第二方向和第三方向运动；

其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。

10.根据权利要求1-9任一项所述的转移装置，其特征在于，所述喷嘴组件包括：

设有流体喷出通道的喷嘴；

内部形成有容纳腔的壳体，所述壳体具有与所述容纳腔连通的第一接口和第二接口，所述第一接口用于与外界流体管路连接，所述第二接口与所述喷嘴密封连接；

喷嘴启闭组件，设置于所述壳体的容纳腔中，用于控制所述流体喷出通道与所述容纳腔连通与否。

11.根据权利要求10所述的转移装置，其特征在于，所述喷嘴启闭组件包括阀杆、阀杆驱动组件和阀杆复位组件，所述阀杆驱动组件用于带动所述阀杆远离所述喷嘴，以使所述流体喷出通道与所述容纳腔连通；

所述阀杆复位组件用于促使所述阀杆封堵所述流体喷出通道。

12.根据权利要求11所述的转移装置，其特征在于，所述阀杆驱动组件包括线圈和铁磁性的驱动杆；

所述容纳腔包括用于容纳所述线圈的第一腔体和与所述第一接口、所述第二接口连通的第二腔体，所述线圈位于所述第一腔体中，所述驱动杆伸出过所述第一腔体，并与所述阀杆远离所述喷嘴的一端连接；

所述线圈通电时，能够使所述驱动杆带动所述阀杆向背离所述喷嘴的方向运动；所述线圈断电时，所述阀杆在所述阀杆复位组件的作用下复位，封堵所述流体喷出通道。

13.根据权利要求12所述的转移装置，其特征在于，所述驱动杆靠近所述阀杆的一端设有翻边；

所述阀杆复位组件包括套设于所述驱动杆上，并位于所述翻边与所述第一腔体之间的弹性复位件；

所述线圈断电时，所述驱动杆在所述弹性复位件的作用下，带动所述阀杆复位，使所述阀杆封堵所述流体喷出通道。