[发明专利]一种长寿命有机发光二极管及其制备方法及装置在审
申请号: | 202111130819.6 | 申请日: | 2021-09-26 |
公开(公告)号: | CN113921729A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 周东营;蔡倩;丁兴立 | 申请(专利权)人: | 苏州驳凡熹科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 张入文 |
地址: | 215699 江苏省苏州市张家*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 寿命 有机 发光二极管 及其 制备 方法 装置 | ||
1.一种长寿命有机发光二极管,其特征在于:是一种在发光层(14)两侧均设置过渡层的有机发光二极管,由ITO玻璃衬底(11)、一层沉积在ITO玻璃衬底(11)上的空穴注入层(12)、一层沉积在空穴注入层(12)上的空穴传输层(13)、一层沉积在空穴传输层(13)上的发光层(14)、一层在发光层(14)沉积在空穴传输层(13)过程中形成的第一过渡层(17)、一层沉积在发光层(14)上的电子传输层(15)、一层在电子传输层(15)沉积在发光层(14)过程中形成的第二过渡层(18)和一层沉积在电子传输层(15)的复合双阴极层(16)组成。
2.根据权利要求1所述的一种长寿命有机发光二极管,其特征在于:所述第一过渡层(17)为空穴传输层(13)的材料与发光层(14)的材料混合得到的过渡层,所述第二过渡层(18)为发光层(14)的材料与电子传输层(15)的材料混合形成的过渡层。
3.根据权利要求1所述的一种长寿命有机发光二极管,其特征在于:所述复合双阴极层(16)由Liq层和Al层组成,所述Liq层沉积在电子传输层(15)上,所述Al层沉积在Liq层上。
4.根据权利要求1所述的一种长寿命有机发光二极管,其特征在于:所述ITO玻璃衬底是表面镀有铟锡氧化物的玻璃,其ITO的厚度为150nm,所述空穴注入层(12)的厚度为5~10nm,优选10nm;
所述空穴传输层(13)的厚度为30~70nm,优选50nm;
所述第一过渡层(17)的厚度为10~20nm,优选15nm,其中空穴传输层材料和发光层材料的混合比例为1:1;
所述发光层(14)的厚度为15~30nm,优选20nm;
所述电子传输层(15)的厚度为30~60nm,优选40nm;
所述第二过渡层(18)的厚度10~20nm,优选15nm,其中电子传输层材料和发光层材料的混合比例为1:1;
所述Liq的厚度为2~4nm,优选3nm,Al金属阴极的厚度为60~200nm,优选100nm。
5.一种权利要求1~4中任一项所述的一种长寿命有机发光二极管的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1、利用标准化方法清洗干净ITO玻璃衬底(11);
S2、利用真空热蒸镀的方法,在清洗干净的ITO玻璃衬底(11)上沉积一层HAT-CN,形成空穴注入层(12),其沉积速率为0.05nm/s;
S3、在S2的空穴注入层(12)上沉积一层HTL1,形成空穴传输层(13),其沉积速率为0.2nm/s;
S4、利用双源共蒸的方法,在S3的空穴传输层(13)表面沉积一层BH1,形成发光层(14),其中空穴传输层(13)材料的蒸发速率为0~0.2nm/s,发光材料的蒸发速率为0~0.2nm/s,在发光层(14)形成之前率先形成第一过渡层(17);
S5、在S4的发光层(14)表面沉积一层ETL1,形成电子传输层(15),其沉积速率为0.2nm/s,在电子传输层(15)形成之前率先形成第二过渡层(18);
S7、在第七步的电子传输层表面沉积一层Liq和Al,形成复合双层阴极,其中Liq的沉积速率为0.05nm/s,Al的沉积速率为0.4nm/s。
6.根据权利要求5所述的一种长寿命有机发光二极管的制备方法,其特征在于:所述步骤S4的具体操作为:在空穴传输层(13)沉积结束时,同时开启预热好的发光层材料通道,此时空穴传输层(13)的速率自然下降,沉降速度由0.2nm/s自然降低为0,同时让发光层材料的沉积速率自然上升,待HTL1速率为零后,继续蒸镀一定厚度的发光层(14)。
7.根据权利要求5所述的一种长寿命有机发光二极管的制备方法,其特征在于:所述步骤S5的具体操作为:在发光层(14)的沉积结束时,打开预热好的电子传输层材料通道,此时发光层材料沉积速率自然下降,由0.2nm/s自然降低为0,同时让电子传输层材料沉积速率自然上升,待BH1速率为零时,继续蒸镀一定厚度的电子传输层(15)。
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