[发明专利]一种应用于透射电镜下原位样品杆研究电池材料的双倾TIP端

权利要求书

1.一种应用于透射电镜下原位样品杆研究电池材料的双倾TIP端，其特征是：包括电学双倾TIP端(1)、双倾驱动杆体(2)，该电学双倾TIP端(1)安装在双倾驱动杆体(2)上。

2.根据权利要求1所述的应用于透射电镜下原位样品杆电池材料研究的双倾TIP端，其特征是：电学双倾TIP端(1)由双倾TIP基座(3)、晶圆探针集成样品座(4)、定制样品(5)、电学芯片(6)、倾转轴(7)、顶丝(8)、扭簧转轴(9)、扭簧衬套(10)、双倾驱动架(11)、倾转扭簧(12)、芯片压盖(13)、样品锁紧螺钉(14)组成；其中定制样品(5)、电学芯片(6)、芯片压盖(13)均安装在晶圆探针集成样品座(4)上形成倾转组件，并通过样品锁紧螺钉(14)固定，该倾转组件通过倾转轴(7)安装在双倾TIP基座(3)上，以倾转轴(7)的轴线为中心线进行旋转。

3.根据权利要求1所述的应用于透射电镜下原位样品杆电池材料研究的双倾TIP端，其特征是：晶圆探针集成样品座(4)包括：绝缘样品座(15)、探针导向板(16)、电路压紧板(17)、晶圆探针集成样品座锁紧螺钉(18)、专用FPC柔性电路板(19)、晶圆探针(20)，所述的晶圆探针(20)设置在绝缘样品座(15)上，探针导向板(16)设置在绝缘样品座(15)底部，专用FPC柔性电路板(19)设置在探针导向板(16)和电路压紧板(17)之间。

4.根据权利要求1所述的应用于透射电镜下原位样品杆电池材料研究的双倾TIP端，其特征是：倾转扭簧(12)、双倾驱动架(11)、扭簧衬套(10)通过扭簧转轴(9)安装在双倾TIP基座(3)上，并通过顶丝(8)固定。

5.根据权利要求1所述的应用于透射电镜下原位样品杆研究电池材料的双倾TIP端，其特征是：双倾驱动杆(2)的杆体里面嵌入了用于驱动倾转的倾转驱动轴(21)，同时杆体留有过线孔(22)和TIP端的安装螺纹孔(23)，过线孔(22)用于专用FPC柔性电路板(19)的过线，TIP端的安装螺纹孔(23)用于安装透射电镜样品杆专用电学双倾TIP端(1)。

6.根据权利要求5所述的应用于透射电镜下原位样品杆研究电池材料的双倾TIP端，其特征是：定制样品(5)包括集流体、负极、电解液、隔膜、正极，定制样品(5)设置在晶圆探针集成样品座(4)上，电学芯片(6)设置在定制样品(5)上，负极通过下方集流体与晶圆探针(20)接触，正极通过电学芯片(6)与晶圆探针(20)接触。

7.根据权利要求5所述的应用于透射电镜下原位样品杆电池材料研究的双倾TIP端，其特征是：双倾驱动杆(2)的杆体后端留有倾转控制接头和电学测试接头，分别用于连接β角倾转控制器(24)和电化学工作站(25)。

8.根据权利要求5所述的应用于透射电镜下原位样品杆研究电池材料的双倾TIP端，其特征是：绝缘样品座(15)和电学芯片(6)中下部有方形槽。

9.一种权利要求1-8任一项所述的应用于透射电镜下原位样品杆电池材料研究的双倾TIP端的倾转方法，其特征是：倾转驱动轴(21)将双倾驱动架(11)向下压，双倾驱动架(11)以扭簧转轴(9)轴线为中心线进行顺时针旋转，从而向上压晶圆探针集成样品座(4)，使其以倾转轴(7)的轴线为中心线，逆时针旋转，实现角度的倾转，反之亦然，从而实现对样品的倾转。