[发明专利]一种横向激发体声波谐振器和滤波器在审
申请号: | 202111134229.0 | 申请日: | 2021-09-27 |
公开(公告)号: | CN113839643A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 孙成亮;谷曦宇;蔡耀;刘婕妤;国世上;赵坤丽 | 申请(专利权)人: | 武汉敏声新技术有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/54 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 崔熠 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 横向 激发 声波 谐振器 滤波器 | ||
1.一种横向激发体声波谐振器,其特征在于,包括:衬底,设置于所述衬底上的压电层,所述压电层的上表面包括第一区域和第二区域,所述第一区域和所述第二区域的分隔线为直线,在所述第一区域内设置有多个正电极,在所述第二区域内设置有多个负电极。
2.如权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于,多个所述正电极在所述第一区域内阵列分布,多个所述负电极在所述第二区域内阵列分布。
3.如权利要求2所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于,所述正电极的形状与所述负电极的形状相同。
4.如权利要求2或3所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于,所述正电极和所述负电极均为条形电极,多个所述正电极沿远离所述第二区域的方向依次排列设置,多个所述负电极沿远离所述第一区域的方向依次排列设置。
5.如权利要求4所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于,所述正电极和所述负电极均为直条形电极;或,所述正电极和所述负电极均为弧形电极,所述正电极和所述负电极的弧形开口相对。
6.如权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于,所述正电极和所述负电极的最小间距大于相邻两个所述正电极之间的最小间距;所述正电极和所述负电极的最小间距大于相邻两个所述负电极之间的最小间距。
7.如权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于,在所述衬底上开设有空腔,所述空腔位于所述压电层之下。
8.一种滤波器,其特征在于,包括多个如权利要求1至7任一项所述的横向激发体声波谐振器,多个所述横向激发体声波谐振器串联或并联。
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