[发明专利]一种横向激发体声波谐振器和滤波器

说明书

本申请提供一种横向激发体声波谐振器和滤波器，涉及滤波器技术领域，包括：衬底，设置于衬底上的压电层，压电层的上表面包括第一区域和第二区域，第一区域和第二区域的分隔线为直线，在第一区域内设置有多个正电极，在第二区域内设置有多个负电极。如此，在正电极和负电极上施加射频信号后，会在正电极和负电极之间产生横向水平电场，从而在压电层上产生水平方向的振动模态。由于正电极和负电极分别位于压电层上表面的两端，因此，产生的横向水平电场会增大，由此，能够增加水平振动模态的能量，从而增大横向激发体声波谐振器的机电耦合系数，提高器件的性能。

技术领域

本申请涉及滤波器技术领域，具体而言，涉及一种横向激发体声波谐振器和滤波器。

背景技术

5G/6G时代已经到来，无线与移动通信系统的发展又一次被推上了时代前沿，这对滤波器开始要求更高的频率和更大的带宽，从而对谐振器的性能提出了更高的要求。现有的声波滤波技术因其优异的使用性能被广泛使用，因此，实现大带宽的声波谐振器组件成为了目前要解决的首要难题。

新一代的5G滤波器(N77、N78和N79)需要高频(3-5GHz)和非常大的带宽，但是现有的体声波(BAW)技术一直是以五边形压电层为基础的，虽然发展出了一系列谐振器与滤波器，但是这种技术通常具有较低的机电耦合系数。

发明内容

本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种横向激发体声波谐振器和滤波器，以具有较高的机电耦合系数。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

本申请实施例的一方面，提供一种横向激发体声波谐振器，包括：衬底，设置于衬底上的压电层，压电层的上表面包括第一区域和第二区域，第一区域和第二区域的分隔线为直线，在第一区域内设置有多个正电极，在第二区域内设置有多个负电极。

可选的，多个正电极在第一区域内阵列分布，多个负电极在第二区域内阵列分布。

可选的，正电极的形状与负电极的形状相同。

可选的，正电极和负电极均为条形电极，多个正电极沿远离第二区域的方向依次排列设置，多个负电极沿远离第一区域的方向依次排列设置。

可选的，正电极和负电极均为直条形电极；或，正电极和负电极均为弧形电极，正电极和负电极的弧形开口相对。

可选的，正电极和负电极的最小间距大于相邻两个正电极之间的最小间距；正电极和负电极的最小间距大于相邻两个负电极之间的最小间距。

可选的，在衬底上开设有空腔，空腔位于压电层之下。

本申请实施例的另一方面，提供一种滤波器，包括多个上述任一种的横向激发体声波谐振器，多个横向激发体声波谐振器串联或并联。

本申请的有益效果包括：

本申请提供了一种横向激发体声波谐振器和滤波器，包括：衬底，在衬底上设置压电层，压电层的上表面包括第一区域和第二区域，第一区域和第二区域无交叠区域，且第一区域和第二区域的分隔线为直线，即第一区域和第二区域分别位于分隔线的两侧。在第一区域内设置有多个正电极，在第二区域内设置有多个负电极，以此使得多个正电极位于压电层的一端，多个负电极位于压电层的另一端，即多个正电极形成的整体和多个负电极形成的整体在压电层的上表面呈两端对立的形式设置，如此，在正电极和负电极上施加射频信号后，会在正电极和负电极之间产生横向水平电场，从而在压电层上产生水平方向的振动模态。由于正电极和负电极分别位于压电层上表面的两端，因此，产生的横向水平电场会增大，由此，能够增加水平振动模态的能量，使振动主要集中在正负电极中间，从而增大横向激发体声波谐振器的机电耦合系数，提高器件的性能。

附图说明