[发明专利]一种降低管式PERC电池划伤的工艺

权利要求书

1.一种降低管式PERC电池划伤的工艺，其特征在于：包括以下步骤：开始、充氮、放舟、升温、预抽、主抽、检漏、抽真空、恒温、恒压、淀积、抽真空、清洗、恒温一、恒温二、充氮一、取舟、结束。

2.根据权利要求1所述的一种降低管式PERC电池划伤的工艺，其特征在于：所述开始、充氮、放舟、取舟和结束步骤的温度设定为490℃。

3.根据权利要求1所述的一种降低管式PERC电池划伤的工艺，其特征在于：所述升温、预抽、主抽、检漏、抽真空、恒温、恒压、淀积、抽真空、清洗、恒温一、恒温二和充氮一步骤的温度设定为450℃。

4.根据权利要求1所述的一种降低管式PERC电池划伤的工艺，其特征在于：所述预抽步骤的设定底压为60pa，时间为250s。

5.根据权利要求1所述的一种降低管式PERC电池划伤的工艺，其特征在于：所述主抽步骤的设定底压为0Pa，时间为40s。

6.根据权利要求1所述的一种降低管式PERC电池划伤的工艺，其特征在于：所述清洗步骤的氮气流量为10000sccm。

7.根据权利要求1所述的一种降低管式PERC电池划伤的工艺，其特征在于：所述恒温一步骤为，打开氮气恒流阀，氮气流量设定为5000sccm，压力为1200pa，时间为30s。

8.根据权利要求1所述的一种降低管式PERC电池划伤的工艺，其特征在于：所述恒温二步骤为，打开氮气恒流阀，氮气流量设定为30000sccm，压力为35000pa，时间为90s。

9.根据权利要求1所述的一种降低管式PERC电池划伤的工艺，其特征在于：所述充氮一的氮气流量设定为15000sccm，压力为常压。