[发明专利]一种半导体金属氧化物薄膜材料的制备设备及制备方法

说明书

一种半导体金属氧化物薄膜材料的制备设备及制备方法，属于氧化物薄膜制备技术领域，为了解决传统通过手动送料，导致危险性大，且效率慢，且只能对局部进行加热，导致受热不均匀，制备的薄膜的均匀性和致密性差，影响成品质量的问题，且通过伸缩夹持，可根据基板大小进行调整，适用多种尺寸进行加工，能够实时进行温度掌控，便于精准控温，通过热压板导热进行热压处理，保证其热处理的均匀性，可以均匀掺杂，制备方法简便，减少制备成本，而且便于制备大面积的薄膜，提高制备效率，增加压强，防止压力不够导致雾化喷嘴堵塞，提高喷射溶液的均匀性和致密性，保证膜体质量。

技术领域

本发明涉及到氧化物薄膜制备技术领域，特别涉及一种半导体金属氧化物薄膜材料的制备设备及制备方法。

背景技术

金属氧化物半导体薄膜一般具有即透明又导电的性质v是一种典型的透明导电薄膜，它的这种优异性质在很多领域有着广泛的应用。关于其性质及应用的研究，是目前研究的热点之一，现有的金属氧化物半导体薄膜在制备的时候有以下缺点：

1、在制备过程中需要对基本进行运输，和加热，传统通过手动送料，导致危险性大，且效率慢；

2、在传统的热处理中，无法做到最温度进行控温，且只能对局部进行加热，导致受热不均匀；

3、通过喷射法进行金属氧化物半导体薄膜制备，这种方法制备的薄膜的均匀性和致密性差，影响成品质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体金属氧化物薄膜材料的制备设备及制备方法，能够精准定位，提高准确性，高效进行输料，保证输料稳定性，可根据基板大小进行调整，适用多种尺寸进行加工，既能够实现接送料，也用于与加热装置对压，能够实时进行温度掌控，便于精准控温，通过热压板导热进行热压处理，保证其热处理的均匀性，可以均匀掺杂，制备方法简便，减少制备成本，而且便于制备大面积的薄膜，提高制备效率，且通过加压泵输气加压，能够保证雾化喷嘴喷涂的细腻度，增加压强，防止压力不够导致雾化喷嘴堵塞，提高喷射溶液的均匀性和致密性，保证膜体质量，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种半导体金属氧化物薄膜材料的制备设备，包括制备箱，所述制备箱内开设三组腔室，包括预热腔、加热腔和制备腔，所述预热腔内壁与送料装置的安装端连接，加热腔内安装有与送料装置送料端对接的输料装置，且输料装置的输出端和输入端穿透设置在三个腔室内，所述加热腔内壁上安装有与输料装置输料面对应的加热装置，所述制备腔内安装有与输料装置输料端对应的喷涂装置。

进一步地，送料装置包括滑轨、移动座、侧接板、上接气缸、侧接气缸、连接板和夹持组件，滑轨固定在预热腔的侧壁上，滑轨上套接移动座，移动座的侧壁上连接有用于上接气缸固定在侧接板，上接气缸的输出端与侧接气缸安装面连接，侧接气缸的输出端通过连接板与夹持组件连接。

进一步地，滑轨外表面开设有齿槽，移动座内设置齿轮，移动座的上端安装有与齿轮套接的移动电机，齿轮套接在移动电机的输出轴杆上，且齿轮与滑轨外表面的齿槽啮合。

进一步地，夹持组件包括左夹板、右夹板、左夹持气缸和右夹持气缸，左夹板和右夹板的两侧的上角处分别由左夹持气缸和右夹持气缸的输出杆进行连接。

进一步地，输料装置包括放置板、侧接杆、活动座板、丝杠杆、输料电机和导向杆，放置板的两侧均安装有侧接杆，两组侧接杆的尾端均安装活动座板，两个活动座板分别套接设置在丝杠杆和导向杆上，丝杠杆尾端与输料电机输出端连接。

进一步地，加热装置包括控制器、测温器、下压气缸、安装环板和热压板，控制器与测温器以及安装在安装环板内的加热电路板电连接，安装环板的上方与下压气缸的输出杆连接，安装环板的下方通过支杆与热压板连接，测温器安装在热压板上，热压板内环形分布有电热环，电热环与加热电路板电连接。