[发明专利]一种地质样品微结构的电子显微三维重构表征方法在审
| 申请号： | 202111140759.6 | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN114002240A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 鲜海洋;杨宜坪;邢介奇;吴逍;杨红梅;魏景明;朱建喜;何宏平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州地球化学研究所 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/20 |
| 代理公司： | 郑州欧凯专利代理事务所(普通合伙) 41166 | 代理人： | 杨岭 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 地质 样品 微结构 电子 显微 三维 表征 方法 | ||
1.一种地质样品微结构的电子显微三维重构表征方法，其特征在于：包括以下步骤：
a1、首先制备电子束可穿透厚度的样品；
a2、将制备的样品放入透射电镜中，在不同倾转角度下拍摄一系列透射电镜二维图像；
a3、在获得一系列透射电镜二维图像后，通过计算机软件将系列二维图像重构出三维图像。
2.根据权利要求1所述的一种地质样品微结构的电子显微三维重构表征方法，其特征在于：所述步骤a1中的电子束可穿透的厚度的样品为纳米尺度，所述电子束可穿透的厚度的样品的纳米尺度通常为50-200nm。
3.根据权利要求1所述的一种地质样品微结构的电子显微三维重构表征方法，其特征在于：所述步骤a1中的样品制备可以是任意可实现样品减薄效果的技术，包括但不限于机械研磨、离子减薄、聚焦离子束加工。
4.根据权利要求1所述的一种地质样品微结构的电子显微三维重构表征方法，其特征在于：所述步骤a2中不同倾转角度具体是指利用透射电镜样品台本身的倾转或利用样品杆的旋转功能来实现样品的不同倾转角度，并且也可同时使用透射电镜样品台本身的倾转和样品杆的旋转功能来实现样品的不同倾转角度。
5.根据权利要求1所述的一种地质样品微结构的电子显微三维重构表征方法，其特征在于：所述步骤a2中的透射电镜二维图像是指该二维图像可以通过样品旋转的任意角度拍照获得。
6.根据权利要求1所述的一种地质样品微结构的电子显微三维重构表征方法，其特征在于：所述步骤a2中的透射电镜二维图像为TEM模式和STEM模式下可获得的任意二维图像，包括但不限于：TEM明场像、TEM暗场像、电子衍图像、STEM明场像、STEM暗场像、STEM-EDS面扫图像、STEM-EELS面扫图像、STEM-CL面扫图像以及EFTEM图像。
7.根据权利要求1所述的一种地质样品微结构的电子显微三维重构表征方法，其特征在于：所述步骤a1中的样品为地质样品、且地质样品为所有可在透射电子显微镜下进行观测的固体地质样品。
8.根据权利要求2所述的一种地质样品微结构的电子显微三维重构表征方法，其特征在于：所述电子束可穿透的厚度的样品的纳米尺度优选为50-80nm。
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