[发明专利]晶粒检测样本自动生成方法和装置

说明书

本发明公开了一种晶粒检测样本自动生成方法，包括：获取多个相同类型晶粒的多张晶粒检测图像；根据多张所述晶粒检测图像之间的重叠区域进行图像对位，并获取每个所述晶粒对应的固定区域图像；根据不同所述晶粒之间的所述固定区域图像进行筛选，选取出现次数最多的所述固定区域图像作为晶粒检测样本。其可以解决传统Golden Die通过人工筛选检测图像再进行手动对位的方式来获取存在样本数量多、部分晶粒无法拍全而导致挑选困难以及手动对位不准确的问题。

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，尤其涉及到一种晶粒检测样本自动生成方法和一种晶粒检测样本自动生成装置。

背景技术

晶粒缺陷检测是半导体生产领域中必不可少的一项工艺流程。在晶粒缺陷检测时，要求能够根据正常晶粒的样本，输出每个晶粒与样本的差异，并判断是否是缺陷。然而如何选取一个样本，是一项困难的挑战。其难点在于拍摄时由于光学条件的不稳定，会有畸变、明暗场等问题。同时有时晶粒大小一张图无法完全囊括，会有多张图分别拍摄同一晶粒的不同部位，此时想要获取一张“标准”将会更加困难。

传统的Golden Die（完美晶粒）获取方式，是通过人工筛选若干张符合要求的晶粒，然后再进行手动对位的方式来进行的。这种对位方式就面临一些问题：需要熟练工人来进行挑选样本；样本数过大很难挑选；对于一张图无法拍摄完全的晶粒挑选困难；手动对位存在不准确的问题。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种晶粒检测样本自动生成方法和一种晶粒检测样本自动生成装置，其可以解决传统Golden Die通过人工筛选检测图像再进行手动对位的方式来获取存在样本数量多、部分晶粒无法拍全而导致挑选困难以及手动对位不准确的问题。

一方面，本发明实施例提供了一种晶粒检测样本自动生成方法，包括：获取多个相同类型晶粒的多张晶粒检测图像；根据多张所述晶粒检测图像之间的重叠区域进行图像对位并获取多个所述晶粒的各个子区域对应的子区域图像；选取同一个所述子区域中出现次数最多的所述子区域图像作为该子区域对应的标准晶粒图像。

在本发明的一个实施例中，所述晶粒检测样本自动生成方法还包括：将每个所述子区域对应的所述标准晶粒图像进行拼接，得到完整的晶粒检测样本。

在本发明的一个实施例中，在所述根据多张所述晶粒检测图像之间的重叠区域进行图像对位之前，还包括：选取对位依据点并获取其所在的所述晶粒检测图像作为基准图像，其它所述晶粒检测图像根据所述基准图像进行图像对位。

在本发明的一个实施例中，所述选取对位依据点包括：响应于用户的鼠标点击、框选、拖拽或者输入坐标值操作，确定所述对位依据点。

在本发明的一个实施例中，在所述获取多个相同类型晶粒的多张晶粒检测图像之后，还包括：对所述晶粒检测图像进行平场校正和畸变校正，所述平场矫正包括根据预先拟合的相机亮度参数修正所述晶粒检测图像的亮度，所述畸变校正包括根据预先标定的相机畸变参数修正所述晶粒检测图像的畸变。

在本发明的一个实施例中，所述平场校正还包括：获取用户设置的亮度参数，所述亮度参数包括亮度值和亮度调整区域；根据所述亮度参数修正所述检测图像的目标区域的晶粒亮度。

另一方面，本发明实施例提出一种晶粒检测样本自动生成装置，包括：晶粒检测图像获取模块，用于获取多个相同类型晶粒的多张晶粒检测图像；子区域图像获取模块，用于根据多张所述晶粒检测图像之间的重叠区域进行图像对位并获取多个所述晶粒的各个子区域对应的子区域图像；标准晶粒图像选取模块，用于选取同一个所述子区域中出现次数最多的所述子区域图像作为该子区域对应的标准晶粒图像。

在本发明的一个实施例中，所述晶粒检测样本自动生成装置还包括：标准晶粒图像拼接模块，用于将每个所述子区域对应的所述标准晶粒图像进行拼接，得到完整的晶粒检测样本。