[发明专利]感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其是含有以下(A)～(D)成分的感光性树脂组合物，

(A)在分子内具有酚式羟基的碱溶性树脂、

(B)在分子中含有至少2个以上的烷氧基甲基的化合物、

(C)光致酸产生剂、及

(D)溶剂，

其中，(A)成分含有：(A-1)二官能酚类化合物，

(D)成分含有：(D-1)含有羟基的溶剂，

将(D)成分的总量设为100质量％时，(D-1)成分的含量为5质量％以上且95质量％以下。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，(D-1)成分含有伯羟基及/或仲羟基。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，(D-1)成分的沸点为60℃以上且180℃以下。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，(D)成分进一步含有：(D-2)含有醚键、羰基及酯键中的至少任一种的溶剂。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其中，(D-2)成分的沸点为60℃以上且180℃以下。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，(A-1)成分含有：包含下述式(A-1)所示结构的二官能酚类化合物，

式(A-1)中，R³表示下述式(a)所示的二价基团、下述式(b)所示的二价基团、下述式(c)所示的二价基团、或由它们组合而成的二价基团，X³及X⁴各自独立地表示任选具有取代基的烷基、任选具有取代基的芳基、卤素原子、或任选具有取代基的一价杂环基，n3及n4各自独立地表示0～4的整数，

式(a)中，R¹¹及R¹²各自独立地表示氢原子、任选具有取代基的烷基、任选具有取代基的芳基、任选具有取代基的一价杂环基、氨基、羰基、羧基、或由它们组合而成的基团，R¹¹及R¹²可以相互结合而形成环，*表示化学键，

式(b)中，X¹¹各自独立地表示任选具有取代基的烷基，p1表示0～4的整数，*表示化学键，

式(c)中，X¹²及X¹³各自独立地表示任选具有取代基的烷基，p2及p3各自独立地表示0～4的整数，*表示化学键。