[发明专利]扬声器及其制备方法

权利要求书

1.一种扬声器的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

提供SOI晶圆，对所述SOI晶圆的顶层硅膜进行刻蚀，以形成第一振膜；

在所述第一振膜和所述SOI晶圆的埋氧层上形成底电极；

在所述底电极上形成压电薄膜；

在所述压电薄膜上形成顶电极；

分别对所述底电极、所述压电薄膜以及所述顶电极进行刻蚀，以形成驱动器；

在所述第一振膜、所述驱动器以及所述埋氧层上沉积高聚物，以形成传动振膜；

对所述SOI晶圆的底层硅膜进行空腔刻蚀，以使所述埋氧层部分暴露于所述空腔；

释放暴露于所述空腔中的埋氧层，以形成所述扬声器。

2.一种根据权利要求1所述扬声器的制备方法制备的扬声器，其特征在于，所述扬声器包括具有收容腔的底座以及收容于所述收容腔内的振动发声组件，所述振动发声组件包括跨接在所述底座内侧壁的传动振膜、叠设在所述传动振膜的第一振膜、以及叠设在所述传动振膜以驱动所述传动振膜和所述第一振膜振动发声的驱动器；其中，所述传动振膜与所述第一振膜的刚度不同。

3.根据权利要求2所述的扬声器，其特征在于，所述第一振膜和所述驱动器位于所述传动振膜的同侧，所述第一振膜围设在所述驱动器周侧。

4.根据权利要求2所述的扬声器，其特征在于，所述第一振膜包括多个子振膜，所述多个子振膜沿所述传动振膜的周向间隔分布。

5.根据权利要求2至4任一项所述的扬声器，其特征在于，所述驱动器采用压电薄膜驱动器。

6.一种扬声器的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

提供压电块体，在所述压电块体上设置电极与电极引出线，以形成驱动器；

提供具有收容腔的底座和传动支架，将传动支架的两端分别与所述驱动器以及底座内侧壁固定连接；

在所述底座内侧壁与所述驱动器之间设置第一振膜，以形成所述扬声器。

7.一种根据权利要求6所述扬声器的制备方法制备的扬声器，其特征在于，所述扬声器包括具有收容腔的底座以及收容于所述收容腔内的振动发声组件，所述振动发声组件包括固定于所述底座内侧壁的传动支架、叠设在所述传动支架的第一振膜、以及固定于所述传动支架以驱动所述传动支架和所述第一振膜振动发声的驱动器；其中，所述传动支架与所述第一振膜的刚度不同。

8.根据权利要求7所述的扬声器，其特征在于，所述传动支架包括固定部、以及自所述固定部外周壁向所述底座内侧壁延伸并与所述底座内侧壁抵接的至少一个传动部；其中，

所述固定部设置有贯穿其厚度方向的通孔，所述驱动器穿设在所述通孔中。

9.根据权利要求7所述的扬声器，其特征在于，所述传动支架包括多个传动部，所述多个传动部沿所述固定部的周向等间隔设置。

10.根据权利要求7至9任一项所述的扬声器，其特征在于，所述驱动器采用压电块体驱动器。