[发明专利]一种提高丝锥切削精度和使用寿命的方法在审
申请号: | 202111146707.X | 申请日: | 2021-09-28 |
公开(公告)号: | CN113943927A | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 赵静宜;赵玉清 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/22;C23C14/06 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陈翠兰 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 丝锥 切削 精度 使用寿命 方法 | ||
1.一种提高丝锥切削精度和使用寿命的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)首先将丝锥刀缝中的油脂刷掉,然后放入超声波清洗槽,对丝锥进行去油清洗处理,清洗结束后脱水风干后置于真空室;
(2)待真空达到1×10-3Pa,启动一个冷阴极的气体离子源,采用氩离子轰击丝锥表面,离子源的放电电压为500V,引出电压为1200V,引出电流为200mA,轰击时间40分钟;
(3)启动电弧离子源,形成电弧放电,电弧离子源阳极筒和阴极靶采用纯度为99.99%以上石墨制备,在石墨阴极靶上产生电弧放电,进而在阳极筒内产生碳等离子体;
(4)通过一个电极将碳等离子体引出放电室,并经过一个磁场过滤,过滤掉中性和多分子石墨粒子,形成单碳离子流;
(5)将单碳离子流通过一个磁透镜聚焦后形成离子束,再通过一个偏转磁场扫描,配合转台将离子束形成一个沉积面,沉积在丝锥上,形成SP3达到75%以上的非晶四面体碳涂层。
2.根据权利要求1所述的一种提高丝锥切削精度和使用寿命的方法,其特征在于,步骤(1)中利用超声波对丝锥进行去油清洗处理的时间为40分钟。
3.根据权利要求1所述的一种提高丝锥切削精度和使用寿命的方法,其特征在于,步骤(3)中电弧放电条件为:放电电压120V,放电电流80A。
4.根据权利要求1所述的一种提高丝锥切削精度和使用寿命的方法,其特征在于,步骤(5)中转台以3r/min的线速度旋转。
5.根据权利要求1所述的一种提高丝锥切削精度和使用寿命的方法,其特征在于,步骤(5)中形成的非晶四面体碳涂层厚度为300nm。
6.根据权利要求1所述的一种提高丝锥切削精度和使用寿命的方法,其特征在于,步骤(5)中形成的非晶四面体碳涂层的显微硬度大于75GPa,摩擦系数小于0.1。
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