[发明专利]一种5G电子产品生产用二极管专用酸洗设备及其使用方法

说明书

本发明公开了一种5G电子产品生产用二极管专用酸洗设备及其使用方法，属于半导体制造领域。一种5G电子产品生产用二极管专用酸洗设备，包括用于对二极管进行清洗的清洗箱、用于对二极管进行烘干的烘干箱，还包括：用于放置二极管的转动件；其中，所述转动件与清洗箱、烘干箱均转动连接；酸液箱，设置在所述清洗箱内；驱动电机，连接在所述清洗箱的上端，用于驱动所述转动件；本发明中通过清洗箱、酸液箱、吸液腔、驱动电机方便了对二极管进行清洗，通过转动主轴、主动齿轮、转动槽方便了转动件转动，方便了快速的对二极管进行清洗。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种5G电子产品生产用二极管专用酸洗设备。

背景技术

半导体电气元件在现代是不可缺少的部件，尤其是二极管，为了方便控制电路的流通，二极管几乎是必不可少的零件；

在半导体的生产过程中其中一个程序就是对半导体进行酸洗，方便的下一步加工，现有的酸洗设备称为酸洗机，为了提高酸洗的效率，酸洗机上往往安装有温度检测设备，通过温度检测设备对酸液的温度进行检测控制，使酸液能保持在能达到最好的效果，但是现有的清洗设备清洗的速度较慢，不能满足生产的需要，因此提出了一种5G电子产品生产用二极管专用酸洗设备。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有的清洗设备清洗的速度较慢，不能满足生产的需要的问题，而提出的一种5G电子产品生产用二极管专用酸洗设备及其使用方法。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种5G电子产品生产用二极管专用酸洗设备，包括用于对二极管进行清洗的清洗箱、用于对二极管进行烘干的烘干箱，还包括：用于放置二极管的转动件；其中，所述转动件与清洗箱、烘干箱均转动连接；酸液箱，设置在所述清洗箱内；驱动电机，连接在所述清洗箱的上端，用于驱动所述转动件；转动主轴，固定连接在所述驱动电机的输出端；吸液腔，设置在所述清洗箱内，并且位于所述酸液箱的下端；推动板，滑动连接在所述吸液腔内；转动曲轴，固定连接在所述转动主轴靠近吸液腔的一端；其中，所述转动曲轴上转动连接有连接杆，所述连接杆远离转动曲轴的一端与推动板转动连接；

所述吸液腔与酸液箱通过连接孔相连通，并且所述连接孔内连接有单向阀，所述清洗箱上端设置有出液腔，并且所述出液腔位于转动件的上侧，所述出液腔下端设置有多组出液孔，所述酸液箱内连接有出液管，所述出液管远离酸液箱的一端与出液腔相连接。

为了便于将二极管固定，优选的，所述转动件上端设置有放置槽，并且所述放置槽环绕分布在转动件上，所述放置槽内对称连接有多组吸力磁铁，所述二极管放置在所述吸力磁铁上。

为了便于对酸液回收，优选的，所述转动件内对称设置有多组连通管，并且所述连通管位于所述二极管的下端。

为了便于转动件转动，优选的，所述转动主轴上固定连接有主动齿轮，所述转动件内壁上设置有多组与主动齿轮相啮合的转动槽。

为了便于对二极管干燥，优选的，所述烘干箱与所述清洗箱相垂直，所述烘干箱内设置有加热槽，所述加热槽位于所述转动件的下端，所述加热槽内连接有加热电阻。

为了便于将气体过滤，优选的，所述烘干箱内远离转动件的一侧设置有过滤器，所述过滤器用于对气体进行过滤，所述烘干箱侧壁上设置有用于过滤器排出气体的出气孔，所述烘干箱内设置有出气腔，并且所述出气腔位于所述转动件的上端，所述出气腔远离转动件的一端连接有出气管，所述出气管远离出气腔的一端与过滤器相连通。

为了便于将气体吹动，优选的，所述烘干箱内转动连接有从动轴，并且所述从动轴上固定连接有与转动槽相啮合的第一齿轮，并且所述第一齿轮的半径较小，所述从动轴下端固定连接有第二齿轮，并且所述第二齿轮半径大于第一齿轮的半径，所述加热槽底端转动连接有传动轴，所述传动轴底端固定连接有与第二齿轮相啮合的第三齿轮，并且所述第二齿轮的半径大于第三齿轮的的半径，所述传动轴远离第三齿轮的一端固定连接有转动扇叶，所述加热槽的侧壁上设置有进气孔。