[发明专利]一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管

权利要求书

1.一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，包括：液位感应器，过滤网，设有至少一个进液口和至少一个排液口的过滤容器；

其中，所述进液口高于所述排液口设置；

所述过滤网放置在所述过滤容器内，且所述过滤网位于所述进液口和所述排液口之间；

所述进液口连接用于排出未经过滤废液的第一排液管，所述排液口连接用于接收过滤后废液的第二排液管；

所述过滤容器径向截面宽度大于所述第一排液管和/或所述第二排液管径向截面宽度；

所述液位感应器设置在所述过滤容器侧壁外侧，且位于所述过滤网与所述进液口之间。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，所述进液口位于所述过滤容器侧壁，所述排液口位于所述过滤容器底部。

3.如权利要求1所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，所述过滤容器的顶部密封。

4.如权利要求1所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，所述过滤容器的壳体为双层空心结构。

5.如权利要求4所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，还包括漏液感应器，所述漏液感应器位于所述过滤容器的外层底部内表面。

6.如权利要求4所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，所述第一排液管管口伸入所述过滤容器内层的内壁一段距离为r，满足r≥0；和/或所述第二排液管管口伸入所述过滤容器内层的内壁一段距离为h，满足h≥0。

7.如权利要求1所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，所述进液口大小与所述第一排液管管口大小相同，所述进液口与所述第一排液管密封连接，和/或所述排液口大小与所述第二排液管管口大小相同，所述排液口与所述第二排液管密封连接。

8.如权利要求1所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，所述过滤网的周向边缘与所述过滤容器的内壁周向边缘贴合。

9.如权利要求1所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，还包括若干支架，所述支架放置在所述过滤容器内，所述过滤网放置在所述支架上。

10.一种用于晶圆背面减薄设备的排液管，其特征在于，包括：权利要求1-9任一项所述的过滤装置。