[发明专利]一种晶圆自动分选机

权利要求书

1.一种晶圆自动分选机，其特征在于，包括底箱、光学检测机、晶圆支撑板、晶圆盛放部、第一驱动部、第二驱动部、抽吸部以及转盘，

所述晶圆支撑板活动安装在所述转盘侧壁，所述第一驱动部安装在所述底箱内部，第一驱动部输出端与所述转盘相连，用于带动所述转盘间歇转动，

所述晶圆盛放部设置在所述底箱一侧，用于对待检测的晶圆进行盛放，

所述第二驱动部以及所述抽吸部均安装在所述转盘一侧，在所述转盘带动所述晶圆支撑板转动至所述晶圆盛放部一侧时，第二驱动部可带动晶圆支撑板沿所述转盘侧壁翻转，抽吸部可将待检测晶圆吸附至晶圆支撑板一侧，

所述光学检测机设置在所述底箱一侧，用于对吸附至所述晶圆支撑板一侧的晶圆进行光学检测。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动分选机，其特征在于，所述第一驱动部包括电机、不完全齿轮、第一齿轮以及支撑轴，

所述电机固定安装在所述底箱内部，所述不完全齿轮设置在所述电机输出端，所述支撑轴一端与所述转盘一侧固定连接，另一端延伸至所述底箱内部并与底箱转动配合，所述第一齿轮固定安装在所述支撑轴侧壁，且第一齿轮能够与不完全齿轮间歇啮合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆自动分选机，其特征在于，所述晶圆盛放部包括光杆、螺纹杆以及盛放底座，

所述光杆与所述螺纹杆相对分布，光杆一端与底箱外壁固定连接，螺纹杆一端与底箱外壁转动连接，所述盛放底座设置在所述光杆与所述螺纹杆之间，且盛放底座侧壁固定设置有滑套以及螺纹套，

所述滑套滑动套设于所述光杆外部，所述螺纹套螺纹套设于所述螺纹杆外部，所述螺纹杆上还固定设置有第三齿轮，所述支撑轴上还固定设置有第二齿轮，所述第二齿轮与所述第三齿轮啮合。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆自动分选机，其特征在于，所述晶圆支撑板远离所述转盘的一侧设有用于粘附晶圆的蓝膜，所述晶圆支撑板内部中空，所述晶圆支撑板一侧开设有若干与所述晶圆支撑板内腔连通的气孔，所述抽吸部与所述晶圆支撑板内腔连通。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆自动分选机，其特征在于，所述晶圆支撑板在所述转盘圆周侧壁呈环形分布设有若干组，抽吸部以及第二驱动部在所述转盘一侧与若干晶圆支撑板一一对应设有若干组。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆自动分选机，其特征在于，所述转盘一侧固定设置有环形座，所述第二驱动部一端与所述环形座铰接相连，另一端与所述晶圆支撑板铰接相连。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆自动分选机，其特征在于，所述底箱一侧还设置有晶圆收集部，用于对检测后的晶圆进行分类收集。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆自动分选机，其特征在于，所述晶圆收集部包括收集箱以及固定设置在所述收集箱内部的若干隔板，

所述收集箱设置在所述转盘与所述底箱之间，且收集箱敞口端朝向所述转盘，相邻两组所述隔板之间形成收集腔室。