[发明专利]一种晶圆自动分选机

说明书

本发明提供了一种晶圆自动分选机，属于晶圆生产设备技术领域，包括底箱、光学检测机、晶圆支撑板、晶圆盛放部、第一驱动部、第二驱动部、抽吸部以及转盘，所述晶圆支撑板活动安装在所述转盘侧壁，所述第一驱动部安装在所述底箱内部，第一驱动部输出端与所述转盘相连，用于带动所述转盘间歇转动，所述晶圆盛放部设置在所述底箱一侧，用于对待检测的晶圆进行盛放，所述第二驱动部以及所述抽吸部均安装在所述转盘一侧。本发明实施例相较于现有技术，能够实现待检测晶圆的自动上料，从而提高了晶圆的安装精度以及检测效率，极大程度的降低了晶圆的检测成本。

技术领域

本发明属于晶圆生产设备技术领域，具体是一种晶圆自动分选机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆加工过程中，由于外界因素会导致生产的晶圆种类和质量有所不同，通常在自动光学检测机中进行AOI测试。目前，晶圆生产时需要将晶圆通过蓝膜粘附在支架上，利用自动光学检测机中对其进行AOI测试，以区分出不同的种类以及品质，在种类以及品质测试完毕后，需要利用吸嘴将其从支架上吸出并置于对应的分隔篮中进行存放。

现有技术中，对于将晶圆粘附在支架上的上料步骤大多是依靠人工实现的，人工上料存在效率低下以及上料位置不可控的缺陷，使得后续的检测精度无法保证。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明实施例要解决的技术问题是提供一种晶圆自动分选机。

为解决上述技术问题，本发明提供了如下技术方案：

一种晶圆自动分选机，包括底箱、光学检测机、晶圆支撑板、晶圆盛放部、第一驱动部、第二驱动部、抽吸部以及转盘，

所述晶圆支撑板活动安装在所述转盘侧壁，所述第一驱动部安装在所述底箱内部，第一驱动部输出端与所述转盘相连，用于带动所述转盘间歇转动，

所述晶圆盛放部设置在所述底箱一侧，用于对待检测的晶圆进行盛放，

所述第二驱动部以及所述抽吸部均安装在所述转盘一侧，在所述转盘带动所述晶圆支撑板转动至所述晶圆盛放部一侧时，第二驱动部可带动晶圆支撑板沿所述转盘侧壁翻转，抽吸部可将待检测晶圆吸附至晶圆支撑板一侧，

所述光学检测机设置在所述底箱一侧，用于对吸附至所述晶圆支撑板一侧的晶圆进行光学检测。

作为本发明进一步的改进方案：所述第一驱动部包括电机、不完全齿轮、第一齿轮以及支撑轴，

所述电机固定安装在所述底箱内部，所述不完全齿轮设置在所述电机输出端，所述支撑轴一端与所述转盘一侧固定连接，另一端延伸至所述底箱内部并与底箱转动配合，所述第一齿轮固定安装在所述支撑轴侧壁，且第一齿轮能够与不完全齿轮间歇啮合。

作为本发明进一步的改进方案：所述晶圆盛放部包括光杆、螺纹杆以及盛放底座，

所述光杆与所述螺纹杆相对分布，光杆一端与底箱外壁固定连接，螺纹杆一端与底箱外壁转动连接，所述盛放底座设置在所述光杆与所述螺纹杆之间，且盛放底座侧壁固定设置有滑套以及螺纹套，

所述滑套滑动套设于所述光杆外部，所述螺纹套螺纹套设于所述螺纹杆外部，所述螺纹杆上还固定设置有第三齿轮，所述支撑轴上还固定设置有第二齿轮，所述第二齿轮与所述第三齿轮啮合。

作为本发明进一步的改进方案：所述晶圆支撑板远离所述转盘的一侧设有用于粘附晶圆的蓝膜，所述晶圆支撑板内部中空，所述晶圆支撑板一侧开设有若干与所述晶圆支撑板内腔连通的气孔，所述抽吸部与所述晶圆支撑板内腔连通。

作为本发明再进一步的改进方案：所述晶圆支撑板在所述转盘圆周侧壁呈环形分布设有若干组，抽吸部以及第二驱动部在所述转盘一侧与若干晶圆支撑板一一对应设有若干组。