[发明专利]监控自动光学检测装置的方法及系统

说明书

本揭露提出一种监控自动光学检测装置的方法及系统，监控自动光学检测装置的方法包括：通过一自动光学检测(Automatic Optical Inspection，AOI)装置产生错误日志(log)信息；以及通过一计算装置接收所述自动光学检测装置所传送的所述错误日志信息，将所述错误日志信息经过一统计运算取得一统计值；以及通过一计算装置使用一检定方法判断所述统计值是否超出一阈值。

技术领域

本揭露是有关于一种监控自动光学检测(Automatic Optical Inspection，AOI)装置的方法及系统，且特别是有关于利用大数据分析的一种监控自动光学检测装置的方法及系统。

背景技术

自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)技术可实现晶圆、晶片或其他待测物件的快速、高精度、无损伤检测。此该技术广泛地应用于PCB、IC晶圆、LED、TFT以及太阳能面板等多个领域。自动光学检测技术一般采用高精度光学成像系统对待测物件进行成像，工作台承载待检测物件进行高速扫描以实现高速测量。系统将扫描的图像和理想参考图像进行比较，或透过特征提取等方式，识别出待检测物件的表面缺陷。然而，当自动光学检测装置失效时，未能及时发现，则会影响稼动率。

因此，需要一种监控自动光学检测装置的方法及系统，以改善上述问题。

发明内容

以下揭露的内容仅为示例性的，且不意指以任何方式加以限制。除所述说明方面、实施方式和特征之外，透过参照附图和下述具体实施方式，其他方面、实施方式和特征也将显而易见。即，以下揭露的内容被提供以介绍概念、重点、益处及本文所描述新颖且非显而易见的技术优势。所选择，非所有的，实施例将进一步详细描述如下。因此，以下揭露的内容并不意旨在所要求保护主题的必要特征，也不意旨在决定所要求保护主题的范围中使用。

因此，本揭露的主要目的即在于提供一种监控自动光学检测装置的方法及系统，以改善上述缺点。

本揭露提出一种监控自动光学检测装置的系统，包括：包括：一自动光学检测(Automatic Optical Inspection，AOI)装置，产生错误日志(log)信息；以及一计算装置，接收所述自动光学检测装置所传送的所述错误日志信息，将所述错误日志信息经过一统计运算取得一统计值，并使用一检定方法判断所述统计值是否超出一阈值。

本揭露提出一种监控自动光学检测装置的方法，包括：通过一自动光学检测装置产生错误日志信息；以及通过一计算装置接收所述自动光学检测装置所传送的所述错误日志信息，将所述错误日志信息经过一统计运算取得一统计值；以及通过一计算装置使用一检定方法判断所述统计值是否超出一阈值。

附图说明

图1是显示根据本发明一实施例中监控自动光学检测装置的系统的示例性示意图；

图2是显示根据本揭露一实施例所述的监控自动光学检测装置的方法的流程图；

图3是显示根据本揭露一实施例所述的分布函数；

图4是显示根据本揭露一实施例所述的自动光学检测装置产生错误日志信息的示意图；

图5是显示根据本揭露一实施例所述的服务器根据错误日志信息进行分类建立数据库CSV文件的示意图；

图6A是显示根据本揭露一实施例的服务器统计6月份中自动光学检测装置发生错误严重程度为等级3的天数及发生次数的散布图；

图6B是显示根据本揭露一实施例的计算装置根据分布函数。

【符号说明】

100:系统

110A～110D:自动光学检测装置

120:服务器

130:计算装置