[发明专利]一种硅片清洗污水的处理方法

权利要求书

1.一种硅片清洗污水的处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

向硅片清洗污水中加入酸液，调节所述硅片清洗污水的pH值至4~6；

向硅片清洗污水中加入硅片切割污水，调节所述硅片清洗污水的悬浮物浓度至1000~3000mg/L；

对pH值与悬浮物浓度调节后的硅片清洗污水进行压滤，收集压滤所得的固相；

向压滤所得的滤液中加入碱液，调节所述滤液的pH值至7~8；

对pH值调节后的滤液进行生化处理。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗污水的处理方法，其特征在于，在向硅片清洗污水中加入酸液的步骤中，所述酸液选自盐酸或硫酸。

3.根据权利要求1所述的硅片清洗污水的处理方法，其特征在于，

所述硅片清洗污水包含硅粉、杂质和水；所述杂质包含二氧化硅、硅酸钠胶体、塑料残渣、环氧树脂与胺类固化剂形成的聚合物中的至少一种；

所述向硅片清洗污水中加入的硅片切割污水包含硅粉、表面活性剂和水；所述硅片切割污水的pH值为4~7。

4.根据权利要求1所述的硅片清洗污水的处理方法，其特征在于，在所述压滤步骤前，向所述pH值与悬浮物浓度调节后的硅片清洗污水中加入纤维素助滤剂。

5.根据权利要求4所述的硅片清洗污水的处理方法，其特征在于，当所述滤液的浊度高于100NTU或当单台压滤机的压滤效率低于12立方米/小时，向所述pH值与悬浮物浓度调节后的硅片清洗污水中加入纤维素助滤剂。

6.根据权利要求1所述的硅片清洗污水的处理方法，其特征在于，所述压滤步骤中使用的滤布为高强度涤纶材料。

7.根据权利要求1所述的硅片清洗污水的处理方法，其特征在于，所述压滤步骤中使用的滤布的透气率为4~6L/m²·s。

8.根据权利要求1所述的硅片清洗污水的处理方法，其特征在于，在向压滤所得的滤液中加入碱液的步骤中，所述碱液选自氢氧化钠或氢氧化钾。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的硅片清洗污水的处理方法，其特征在于，所述生化处理包括如下步骤：

水解酸化及厌氧处理：将所述滤液中的高分子有机物分解为小分子有机物；

好氧处理：利用好氧微生物将所述滤液中的小分子有机物分解为无机物；

曝气处理：对所述滤液进行曝气处理，去除所述滤液中的悬浮物、化学需氧量、生化需氧量、氮和磷中的至少一种。